微量水分是SF6氣體的一項重要技術指標，主要是因為：
1、當微量水分嚴重超標時，有可能使開關絕緣件受潮或產生凝露，從而大大降低其絕緣性能。
2、由于SF6被電弧分解后產生HF，SO2，SOF2等有毒氣體，會對金屬件、絕緣件產生腐蝕作用，而水分的存在會加重腐蝕作用。因此，微量水分作為SF6開關設備出廠和投運前的必試項目，已廣泛地受到重視，對SF6高壓電氣設備氣體密度和微水含量的監測一直是相關行業對設備監測的一個重要的組成部分。
為了使對SF6氣體的監測變得有章可循，有關部門相繼制定了相關標準對SF6氣體質量、特別是微水含量進行嚴格控制，電力部推薦標準《電力設備預防性試驗規程(DL/T 596-2005)》、國家標準《六氟化硫電氣設備中氣體管理和檢驗導則(GB/T 8905-1996)》。然而在實際使用過程中，還存在著以下幾個問題：
1、環境溫度對測量結果的影響：不論是國標或部頒標準中，均沒有談及環境溫度對SF6斷路器氣體中水分含量的影響，而在實際測量過程中普遍發現，同一臺開關設備在不同季節、不同溫度下測得的水分含量不一致，特別是冬季和夏季的差別最大。在溫度低時，微量水分值小于部頒標準，而在溫度高時，微水值可能遠大于部頒標準。
2、測量數值判別問題：一般的SF6濕度儀沒有明確的指示儀器數值是否穩定，要靠操作人員人為主管判別，每個人的判別結果可能是不同的，容易出現不必要的SF6氣體浪費問題。
3、SF6氣體分解物影響：SF6放電過程中會產生一些分解物，如斷路器內產生的金屬氟化物混合物的纖細粉末，這些金屬氟化物不僅降低澳量精度,其中一些還可能與儀器部件發生反應。
4、儀器管路污染：在儀器生產過程中，如果采用不符合電力標準的管道，則極易產生儀器管道污染，進而影響測量結果。
5、SF6排放問題：一般測量都是直接把SF6排放到大氣中，然而SF6氣體是一種溫室氣體，“京都議定書"，明確指出了應減少SF6氣體向地球的排放。
針對以上問題，依據廣大用戶反饋意見，結合我國電力系統的實際情況而精心設計的新一代產品：符合《DL/T 506-2007 六氟化硫電氣設備中絕緣氣體濕度測量方法》標準要求，適用于電力系統現場測量部門和設備生產廠商使用。
PSEHO SF6智能精密微水儀技術特點及參數
1、技術特點
重復性好、響應速度快，操作簡單、攜帶方便。
氣體過濾功能：儀器內置過濾器，可以把金屬氟化物顆粒*過濾掉，提高測量精度。
內部全不銹鋼管路：有效防止儀器管路的二次污染。
全量程單點法、多點法濕度校準，測量過程中零點自動校準技術。
電量顯示。
快速測量：開機后無須預加熱，快速達到露點飽和狀態。
快速省氣：測定時耗氣僅2L（101.2kPa）左右。
自鎖接頭：采用自鎖接頭，安全可靠，無漏氣。
數據存儲：可存儲50組測試數據。
顯示清晰：液晶屏直接顯示微水（ppm）、露點、環境溫度、環境濕度、時間及日期、電池電量等內容。
內置電源：內置可充鋰電池，一次充足可連續工作10小時。
2、技術參數
微水 （露點） | 測量范圍 | -60℃～20℃ |
測量精度 | ± 2℃ | |
分辨率 | 1ppm | |
響應時間 （＋20℃） | 63%需45秒，90%需90秒 | |
電源 | AC 220V | |
內置充電電池，充滿后可使用10小時 | ||
重量 | 2.5公斤 | |
尺寸 | 250×100×300mm3 | |
工作溫度 | －40℃～＋80℃ | |
測量方法
1、連接SF6設備
將測量管道上螺紋端與開關接頭連接好，用扳手擰緊，關閉測量管道上另一端的針型閥；再把測試管道上的快速接頭一端插入智能微水儀上的采樣口；將排氣管道連接到出氣口。最后將開關接頭與SF6電氣設備測量接口連接好，用扳手擰緊；
2、初始化
打開儀器電源開關，儀器進入初始化自校驗過程，此過程6-8分鐘。
3、檢查電量
本儀器推薦優先使用交流電。使用直流電時，請查看右上角顯示的電池電量，如果電量低于約10％，請關機充電后繼續使用。
4、開始測量
首先全部打開面板上的流量閥，然后用儀測量管道上的針型閥調節流量，把流量調節到0.5L/M左右，開始測量SF6濕度。
第一設備測量時間需要7～15分鐘，其后每臺設備需要3～5分鐘。
5、存儲數據
設備測量完成后，可以將數據保存在儀器中，按"OK"鍵調出操作菜單，具體操作方式見下節內容。
6、測量其他設備
一臺設備測量后，關閉測量管道上的針型閥和智能微水儀上的調節閥。將轉接頭從SF6電氣設備上取下。
7、測量結束
所有設備測量結束后，關閉智能微水儀電源。
菜單操作
在測量狀態，通過“OK"鍵可以進入功能菜單，如圖1。
1、保存數據
在測量狀態，通過按“OK"鍵可以進入功能菜單，按鍵選擇“保存記錄"菜單，按“OK"鍵，進入保存數據頁面，保存數據時，可以根據設備進行編號。
設備編號最多為六位，可以通過鍵增加數值大小，“F1"左移數據位數，“F2"右移數據位數。
輸入編號后，按“OK"鍵，完成保存數據。按“ESC"鍵可以返回上一頁，此時不保存數據。
2、查看記錄
在測量狀態，通過按"OK"鍵可以進入功能菜單，按鍵選擇“查看記錄"菜單，按“OK"鍵，進入查看記錄頁面。
顯示時從最后一個被保存的數據開始。
可以按鍵翻看數據。
3、刪除記錄
在測量狀態，通過按“OK"鍵可以進入功能菜單，按鍵選擇“刪除記錄"菜單，按“OK"鍵，可刪除所有數據。
4、修改時間
在測量狀態，通過按“OK"鍵可以進入功能菜單，按鍵選擇修改時間，按“OK"鍵，進入修改時間頁面。
通過鍵增加數值大小，“F1"左移數據位數，“F2"右移數據位數。
系統設置
在測量狀態，同時按住和“F2"鍵可以進入系統設置菜單，如圖2。
1、露點標定
按鍵選擇“露點標定"菜單，按“OK"鍵，進入標定方式選擇界面，如下圖。
如果儀器出現線性偏差，可以進行“單點標定"，標定范圍：－12.5℃～+12.5℃。
如果儀器出現非線性偏差，可以進行“多點標定"，首先輸入標定點數（0～6），然后從低到高依次輸入“測量值"和“標定值"，一般最后一個點的“測量值"和“標定值"均設為“0"。輸入一個點的數值后，按“OK"鍵進入下一個點的輸入界面，直至所有點輸入完成，按“ESC"返回菜單選擇界面。
標定方法：
試驗室進行數據標定前，點擊一次“清除標定"菜單，以清除原有數值。同時將測量模式和溫度修正模式調為0。
用標準濕度發生器產生一定濕度的氣體，以0.5L/min的流量流過儀器30分鐘以上，等儀器示值穩定后讀取儀器數值為“測量值"，對應標準設備的數值為“標定值"。
對于預標定的數值點依次做完后，查看偏差是否具有線性特點，如果是線性偏差，則采用“單點標定"進行修正；如果非線性偏差，通過“多點標定"對儀器進行修正。
2、系統參數
設定“溫度修正模式"、“露點測量模式"、“出廠編號"、“出廠日期"。
3、設備信息
顯示設備“程序版本"、“設備編號"、“標定時間"和“出廠日期"等信息。
注意事項
儀器應放置在安全位置，防止摔壞。避免劇烈震動。
勿測有腐蝕性的氣體。
儀器使用前，應及時充電。充電時只需將電源線接入220V插座，無需打開電源開關，儀器將自動充電，充電時間一般需要5個小時以上。
附 錄 ：(六氟化硫斷路器含水量測量要求)
測 試 內 容 | 標 準 （μl/l, 20℃） |
六氟化硫斷路器出廠和大修中（整體裝復以前）應分別測量開斷單元和支柱單元水份值。 | ≤150 |
交接時由支柱下部充氣接口測量斷路器水份值。 | ≤150 |
運行中由支柱下部充氣接口測量斷路器水份值。測試周期按“預試規程"規定。 | ≤200 |
運行中，必要時（開斷單元漏氣、解體過開斷單元）六氟化硫斷路器應由聯箱內自封接頭處單獨測量開斷氣室含水量。 | ≤300 |
