silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN原理：
HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN的必要性：
在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
技術參數：
電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率：2200W
溫度范圍：RT+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：±1℃
達到真空度：133Pa（1torr）
工作室尺寸（mm）：450*450*450,800*800*800（可定做）
特點：
1、預處理性能更好
2、處理更加均勻
3、效率高
4、更加節省藥液
5、更加環保和安全
6、低液報警裝置
7、可自動吸取HMDS功能
8、可自動添加HMDS功能
9、HMDS藥液泄漏報警功能
10、HMDS緊急疏散功能
11、數據記錄打印功能
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上海雋思實驗儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業從事儀器設備研發、生產、銷售及服務的企業。主要生產半導體工藝設備、環境模擬儀器設備、線纜試驗機、橡塑試驗檢測設備、黑蒜設備等的高新技術型企業，具有很強的自主開發、設計能力,服務于電子、電力、通訊、環保、農業，建筑，節能等行業；多年來，公司以“真摯的服務、優質的品質”為宗旨，為國內外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務。贏得了國內外客戶的*好評，更為我們業務的快速發展奠定了一定的基礎。我們的服務也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業務有HMDS預處理系統，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮氣烘箱，高溫無氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗箱，高低溫試驗箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發酵設備，導體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗機，橡塑檢測試驗機等。
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2、處理更加均勻
3、效率高
4、更加節省藥液
5、更加環保和安全
6、低液報警裝置
7、可自動吸取HMDS功能
8、可自動添加HMDS功能
9、HMDS藥液泄漏報警功能
10、HMDS緊急疏散功能
11、數據記錄打印功能
silicon wafer HMDS烤箱，HMDS OVEN 產品信息
