工業超純水設備系統采用多介質過濾器、活性炭過濾器作及保安過濾器作為前級處理，有效除去原水中的懸浮物、泥砂、微粒、有機硅膠體、有機物、異味、余氯等雜質，使經過離子交換處理后的水質符合工業生產要求。在經過后端進行精處理系統（混床系統），使其產水水質滿足生產用水的要求。
超純水是美國科技界為了研制超純材料（半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等）應用蒸餾、去離
子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎
沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二惡英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素。
超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。
超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18(沒有明顯界線)，則稱為超
純水。
