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HMDS涂膠系統(tǒng)，HMDS涂膠烤箱

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公司名稱上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司
品牌雋思
型號
所在地上海
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2021/8/18 8:52:12
訪問次數(shù)3231

產(chǎn)品標(biāo)簽:

HMDS 烤箱烘箱 HMDS預(yù)處理真空烘箱

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公司介紹主營產(chǎn)品

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司（以下簡稱“雋思儀器”）是一家專業(yè)從事儀器設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及服務(wù)的企業(yè)。主要生產(chǎn)半導(dǎo)體工藝設(shè)備、環(huán)境模擬儀器設(shè)備、線纜試驗(yàn)機(jī)、橡塑試驗(yàn)檢測設(shè)備、黑蒜設(shè)備等的高新技術(shù)型企業(yè)，具有很強(qiáng)的自主開發(fā)、設(shè)計(jì)能力,服務(wù)于電子、電力、通訊、環(huán)保、農(nóng)業(yè)，建筑，節(jié)能等行業(yè)；多年來，公司以“真摯的服務(wù)、優(yōu)質(zhì)的品質(zhì)”為宗旨，為國內(nèi)外廣大用戶提供了周到的售前、售中、售后服務(wù)。贏得了國內(nèi)外客戶的*好評，更為我們業(yè)務(wù)的快速發(fā)展奠定了一定的基礎(chǔ)。我們的服務(wù)也更精益求精，更完善！
雋思儀器主要業(yè)務(wù)有HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS烘箱，潔凈烤箱，百級潔凈烘箱，氮?dú)夂嫦?，高溫?zé)o氧烘箱，真空無氧烘箱，無塵無氧化烘箱，抗粘劑涂膠機(jī)，精密恒溫加熱臺，快速高低溫氣流儀，超低溫試驗(yàn)箱，高低溫試驗(yàn)箱，高低溫交變濕熱箱定做，HMDS真空涂膠烘箱，低溫脆性檢測儀，黑蒜發(fā)酵設(shè)備，導(dǎo)體直流電阻測試儀，電線電纜檢測儀器，真空烘箱，黑蒜試驗(yàn)機(jī)，橡塑檢測試驗(yàn)機(jī)等。
不斷追求技術(shù)進(jìn)步、提升專業(yè)服務(wù)能力，做一個(gè)專業(yè)的儀器設(shè)備供應(yīng)商是我們的發(fā)展目標(biāo)。企業(yè)內(nèi)部實(shí)施了CRM、ERP項(xiàng)目管理，在產(chǎn)品開發(fā)、質(zhì)量控制、集成供應(yīng)鏈、人力資源管理、財(cái)務(wù)管理等諸多方面取得了長足發(fā)展。同時(shí)建立了標(biāo)準(zhǔn)化的服務(wù)流程，形成了覆蓋全國的快速服務(wù)網(wǎng)絡(luò)，以盡心盡責(zé)的服務(wù)理念和完備的技術(shù)得到用戶的*稱贊。我們將珍視每一次與您合做的機(jī)會(huì)，以飽滿的熱情、真誠的服務(wù)與您共創(chuàng)燦爛的未來！

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產(chǎn)品簡介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國產(chǎn)	用途	HMDS預(yù)處理,HMDS涂布，HMDS蒸鍍

HMDS涂膠系統(tǒng)，HMDS涂膠烤箱通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、液晶面板、顯示器、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

HMDS涂膠系統(tǒng)，HMDS涂膠烤箱產(chǎn)品信息

HMDS涂膠系統(tǒng)，HMDS涂膠烤箱簡介

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、液晶面板、顯示器、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。

HMDS蒸鍍機(jī)特點(diǎn)

Ø 預(yù)處理性能更好：

Ø 處理更加均勻：

Ø 效率高：

Ø 更加節(jié)省藥液：

Ø 更加環(huán)保和安全：

Ø HMDS藥液低液位報(bào)警：

Ø 自動(dòng)吸取HMDS：

Ø 可自動(dòng)添加HMDS：

Ø HMDS藥液泄漏報(bào)警：

Ø HMDS氣體管路加熱系統(tǒng)：

Ø 參數(shù)記錄功能：

Ø 溫度與程序互鎖功能：

HMDS涂膠系統(tǒng)，HMDS涂膠烤箱必要性

HMDS蒸鍍就是利用惰性氣體（例如氮?dú)猓е鳫MDS的蒸汽通過芯片表面，而在芯片表面形成一層薄膜。其目的在于：A.消除芯片表面的微量水分。B.防止空氣中的水汽再次吸附于晶面C.增加光阻劑（尤其是正光阻）對于晶面的附著能力，進(jìn)而減少在此后之顯影過程中產(chǎn)生掀起，或是在蝕刻時(shí)產(chǎn)生了“Undercutting”的現(xiàn)象。目前在規(guī)范中規(guī)定于HMDS蒸鍍完4小時(shí)內(nèi)需上光阻以確保其功能。

將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)，HMDS蒸鍍機(jī)技術(shù)參數(shù)

Ø 材質(zhì)：外箱采用不銹鋼或優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級不銹鋼

Ø 溫度范圍：RT+10-250℃

Ø 溫度分辨率：0.1℃

Ø 溫度波動(dòng)度：≤±0.5

Ø 真空度：≤133pa（1torr）

Ø 潔凈度：class 100，設(shè)備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

Ø 電源及總功率：AC 220V/380V±10% / 50HZ

Ø 控制儀表;人機(jī)界面

Ø 擱板層數(shù):2層

Ø HMDS控制:可控制HMDS藥液的添加量