VOC廢氣處理設備常見的產生等離子體的方法是氣體放電，所謂氣體放電是指通過某種機制使一電子從氣體原子或分子中電離出來，形成的氣體媒質稱為電離氣體，如果電離氣由外電場產生并形成傳導電流，這種現象稱為氣體放電。根據放電產生的機理、氣體的壓j源性質以及電極的幾何形狀、氣體放電等離子體主要分為以下幾種形式：①輝光放電；③介質阻擋放電；④射頻放電；⑤微波放電。無論哪一種形式產生的等離子體，都需要高壓放電。容易打火產生危險。由于對諸如氣態污染物的治理，一般要求在常壓下進行。

VOC廢氣處理設備等離子體是繼固態、液態、氣態之后的物質第四態，當外加電壓達到氣體的著火電壓時，氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。

特點：

① 能解決大氣污染，改善作業環境空氣質量。

② 運行程序化、智能化，可連續運行或間斷式運行。

③ 不產生臭氧，對呼吸系統無刺激；對管道及設備無腐蝕性，并對儀器儀表有保護作用。

④ 設備可依附于通風系統上，不需要占用很大的空間。

⑤ 操作維護簡單，零配件更換方便，無需專人值守。

⑥ 主要設備和部件*，設備壽命長（離子管使用壽命2萬小時以上，主體設備使用年限15年以上）。

適用場所：

① 食品加工業（用于水產、肉禽、蔬菜等食品加工車間，冷藏室等）。

主要功能： 降低空氣中粉塵濃度；消除孢子、細菌病毒、異味。

② 污水、垃圾處理廠等市政行業（用于污水廠、污水泵站、污泥堆場、糞便處理場等）

主要功能：去除有害氣體；消除懸浮物及有害氣體、異味；減少灰塵、殺滅病毒。

③ 室內空氣凈化（用于飯店、機場、車站、游輪、客房、商店、展覽館、火車站、體育館等）。

主要功能：減少空氣中可吸入顆粒物；防止細菌侵害及交叉感染；提高室內空氣的離子濃度。

④ 化學工業的靜電、除塵（用于化學工業、電腦機房、造紙工業、電子工業、印刷業等）。

主要功能：減少空氣中的灰塵；消除靜電、異味、揮發性有機溶劑。