無塵烘箱，MES百級烘箱簡介：
無塵烘箱用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中的堅膜工藝、半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、橡膠、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
無塵烘箱，MES百級烘箱技術參數：
溫度范圍 | 室溫＋10℃～250℃ |
溫度波動度 | ±0.5℃ |
溫度均勻度 | ≤±2℃ |
溫度過沖 | ≤5℃ |
工作室尺寸（單腔） | 根據要求定制 |
潔凈度（class） | 100級（符合FED-STD209E 標準） |
功率 | 根據內部尺寸而定 |
氣流控制方式 | 強制循環通風，控制系統根據設定之溫度點通過PID 自動運算輸出的結果去控制加熱器的輸出量，終達到平衡 |
氣流循環裝置 | 內置空調間、循環風道及通風電機 |
加熱方式 | 優質不銹鋼加熱器 |
隔板 | 每個腔體配二個隔板，用不銹鋼板沖孔制成 |
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箱體外壁材料 | 冷軋鋼板靜電噴塑 |
箱體內壁材料 | 為不銹鋼板內壁氬弧焊（SUS316 或SUS304） |
保溫材料 | 優質超細納米玻璃棉 |
氮氣接口 | 能將箱內空氣排出，確保烘烤的硅片是在氮氣中進行；氮氣流量計需安裝在箱體的正面，進氣口安裝在箱體的后部， |
電磁門鎖功能 | 有定時開啟門鎖功能，設備裝有電磁鎖和定時器，設備運行時電磁鎖動作將門鎖住，當定時時間到后電磁鎖斷電將門打開，同時進行聲光提醒（注：定時器只控制電磁鎖和聲光提醒器，不需控制加熱器和電機）。設備還裝有自動/手動定時開關，可在不需定時的時候手動開啟電磁鎖（定時器具有復位功能 |
超溫保護裝置 | 采用獨立的超溫保護裝置，確保溫度不超限；當保護裝置動作時自動切斷加熱電源并進行聲光報警、超溫保護控制儀采用LED 顯示控制器 |
計時方式 | 溫度達到工藝設定值時開始計時，并在計時結束時有蜂鳴提示 |
排風口 | 直徑50mm的排風口,安裝有調節閥 |
腔門密封性 | 密封條耐高溫>300℃ |
接地安全 | 安全保護，接地線 |
電氣安全保護 | 風機過載保護;加熱系統超溫保護 |
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MES接口 | MES接口,可連接MES系統 |
| 管理生產單元有關的記錄和表格，包括工作指令、配方、工程圖紙、標準工藝規程、零件的數控加工程序、批量加工記錄、工程更改通知以及班次間的通訊記錄，并提供了按計劃編輯信息的功能。 |
| 能通過數據采集接口來獲取生產單元的記錄和表格上填寫的各種作業生產數據和參數。 |
| 提供工件在任一時刻的位置和狀態信息。其狀態信息可包括：進行該工作的人員信息；按供應商劃分的組成物料、產品批號、序列號、當前生產情況、警告、返工或與產品相關的其它異常信息。 |
| 以作業、訂單、批量、成批和工作單等形式管理生產單元間工作的流動。 |
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