反滲透超純水設備典型工藝流程為：
1: 預處理－反滲透－純化水箱－離子交換器－紫外燈-純水泵－用水點
2: 預處理－一級反滲透－二級反滲透（正電荷反滲膜）－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
3: 預處理－反滲透－中間水箱－中間水泵－EDI裝置－純化水箱－純水泵-紫外燈－用水點
4: 預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→脫氧裝置→氮封純水箱→除TOC UV裝置→拋光混床→超濾裝置→用水點
水質符合美國ASTM標準，電子部超純水水質標準（18MΩ*cm，15MΩ*cm，2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級）

功能說明

編輯
1、在線檢測并顯示超純水電阻率(MΩ?cm)。
2、產品小型集成化、模塊化、快接式內部設計，方便安裝維護，占地面積小，外形美觀;
3、選用進口*泵，系統運行時無震動、無噪音、無電磁輻射，對工作環境無影響·
4、美國高容量樹脂深度拋光純化處理技術，提高離子交換系統的總交換量，延長耗材壽命;
5、數字化液晶水質顯示，全自動化制水，停水或水壓不夠，系統自動斷電保護同時視聽報警，多重安全保護;
6、動態化指示：電源指示，系統自檢指示，泵浦啟動指示，RO自動沖洗指示，缺水保護指示，缺水報警指示，純水備用指示;
7、全自動化無人值守設計：缺水停水時系統自動停機保護，水壓恢復正常時系統自動恢復制水狀態;純水備用時系統自動停機，當取用一定純水時系統自動恢復制水狀態;
8、微電腦智能控制系統，RO膜防垢程序及完善的自動清洗消毒程序;
9、外觀時尚：采用高檔ABS材料開膜精加工，工藝*，線條流暢精美。