單晶提拉爐是科研院所、企事業單位新晶體材料的提拉法、下降法、泡生法、溫梯法生長性能研究和生產的優良可靠設備。
結構及性能說明:
BN-DTL800型單晶提拉爐主要部分組成:
1、爐體:真空爐室尺寸φ400*700mm,雙層通水爐壁用304不銹鋼,爐門為側開門,爐門上設有通水石英觀察窗。
2、真空系統:
2.1為適應用戶的工藝要求,配備擴散泵機組。
2.2真空閥為真空碟閥;在機械泵抽氣口安裝有電磁真空壓差放氣閥。
3、真空計:真空計是用來測量真空度的裝置。設備中設置了壓力真空表(安裝在與爐體的真空管道上)與熱偶真空計兩種;真空硅管安裝在爐體排氣口與真空碟閥連接的管道上,用來測量真空度。
4、提拉機構:采用滾珠絲杠加導軌拖動移動平臺直線運動。 稱重控制采用應變式傳感器。提拉速度和旋轉速度在觸摸屏上設置,具有故障報警、報警記錄、數據記錄,斷電自動處理,超壓報警等,數據記錄可以通過U盤拷出放入計算機進行分析。
5、加熱系統:隔熱屏采用石墨及碳氈材料制作,結構型式為圓形隔熱屏,加熱器也采用石墨圓型結構型式,安裝在圓形隔熱屏的圓周上,使其形成一個整體;加熱器采用銅電極連接石墨發熱體,易于拆卸和維修。
6、電控系統:昆侖通泰10寸液晶觸摸屏顯示,以實現數據的存儲、輸出,可通過U盤復制到計算機上,曲線實時顯示屏;讓程序設置更快捷,設備運行狀態更直觀,設定數據和操作都是圖文界面,操作方便;針對數據的存儲、輸出,可通過USB接口復制數據到計算機上長期保存,可以預設多條加熱曲線。控溫精度±1℃。專家模塊和控制算法相結合,實現精密控溫,有效抑制溫度過沖。超溫報警系統具有切斷主回路、聲光報警和自動恢復解除功能。
主要技術參數:
1、熔料量:2Kg(以金屬銦7.3g/cm3計)
2、工作溫度:500℃;
3、加熱溫度:800℃;分
4、坩堝材質:超高純石墨;
5、加熱方式:石墨加熱;
6、電極中心距/數量:300mm(一對);
7、功率:30KW
8、冷爐的極限真空度:≤6.67*10-2pa;
9、冷爐泄漏率:≤10Pa/h;
10、爐膛設計壓力:≤0.03MPa;
11、籽晶拉速范圍:2~80mm/h;
12、籽晶桿快升/快降:≥100mm/min;
13、籽晶桿轉速范圍:1~50rpm;
14、坩堝行程:150mm;
15、坩堝轉速范圍:5~15rpm;
16、下降桿快升/快降:50mm/min;
17、水冷系統:室外閉式循環冷卻系統,流量5m3/h。
18、控溫精度:±1℃
質量優勢:
一、爐殼、爐膛
1、雙層優質碳鋼板、表面防銹耐高溫烤漆處理;
2、氧化鋁多晶纖維高溫爐膛,美觀節能。
二、電器、控溫
1、電子元件全部德力西品牌、可控硅是日本或德國原裝;
2、以確保安全、高效使用,采用進口全銅隔離式變壓器;
3、溫度控制和檢測全部采用
單鉑銠(S型)≤1500℃;
雙鉑銠(B型)≤1800℃;