有機廢氣凈化設備放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。
有機廢氣凈化設備
是先將集氣系統收集的廢氣輸送到堿式吸收塔中，將廢氣由下而上輸入，堿液通過噴淋的方式由上而下噴淋廢氣，經過吸收塔處理后的氣體在經過一層水幕除塵后輸入燃燒塔中。此過程去除了廢氣中含有的部分酸性氣體和粉塵。廢氣仍然由下而上進入燃燒塔，在燃燒塔中燃燒后，除去了廢氣中含有的有機物，后再經過一層水幕除塵過程，再去除氣體中因燃燒產生的粉塵，燃燒后的二氧化碳和水就排入大氣中即可。
特點：① 能解決大氣污染，改善作業環境空氣質量。② 運行程序化、智能化，可連續運行或間斷式運行。③ 不產生臭氧，對呼吸系統無刺激；對管道及設備無腐蝕性，并對儀器儀表有保護作用。④ 設備可依附于通風系統上，不需要占用很大的空間。⑤ 操作維護簡單，零配件更換方便，無需專人值守。⑥ 主要設備和部件*，設備壽命長（離子管使用壽命2萬小時以上，主體設備使用年限15年以上）。
適用場所：① 食品加工業（用于水產、肉禽、蔬菜等食品加工車間，冷藏室等）。主要功能： 降低空氣中粉塵濃度；消除孢子、細菌病毒、異味。② 污水、垃圾處理廠等市政行業（用于污水廠、污水泵站、污泥堆場、糞便處理場等）主要功能：去除有害氣體；消除懸浮物及有害氣體、異味；減少灰塵、殺滅病毒。③ 室內空氣凈化（用于飯店、機場、車站、游輪、客房、商店、展覽館、火車站、體育館等）。主要功能：減少空氣中可吸入顆粒物；防止細菌侵害及交叉感染；提高室內空氣的離子濃度。
