低溫等離子廢氣除臭設備等離子體反應區富含*的物質，如高能電子、離子、自由基和激發態分子等，廢氣中的污染物質可與這些具有較高能量的物質發生反應，使污染物質在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到講解污染物的目的。
低溫等離子除臭設備等離子區工作原理：當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離， 從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。（在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。）
低溫等離子廢氣除臭設備利用外加電壓達到氣體的放電電壓，擊穿氣體產生包括電子、各種離子、原子核自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物就是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生電離、解離、激發等一系列復雜的物理化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子無害或低害物質，以達到廢氣凈化的目的。
