UV光解廢氣處理設備等離子體中包含大量的高能電子、正負離子、激發態粒子和具有強氧化性的后型自由基，這些活性粒子和部分廢氣分子碰撞結合，同時產生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能與有害氣體分子發生化學反應，后生成無害產物。物理作用表現在具有荷電集塵作用。等離子體中的大量電子與顆粒污染物發生非彈性碰撞并粘附其表面從而使其荷電，在電場作用下，顆粒污染物被集塵極收集。生物作用表現在具有消毒殺菌之功效。機理為：等離子體中的正負粒子使微生物表面產生的電能剪切力大于其細胞膜表面張力，致使細胞膜遭到破壞而導致微生物死亡。
特點
1、適應性強：可適應絕大部分高中低濃度，廣泛應用于：印刷廢氣、橡膠廠、化工廠、制藥廠、污水處理廠、垃圾轉運站、污水泵房等氣體的脫臭滅菌凈化處理。
2、高效除惡臭：能高效去除揮發性有機物（VOC）及硫化氫、氨氣等無機物類污染物，各種惡臭味，脫臭效率高，脫臭效果大大優于國家頒布的惡臭污染物排放標準（GB14554-93）．
3、運行成本低：本設備無任何機械裝置，無運動噪音，無需專人管理和日常維護，只需作定期檢查維護，維護和能耗低，風阻極低，可節約大量排風動力能耗。
UV光解廢氣處理設備采用高能紫外線光束與空氣、TiO2反應產生臭氧，利用高能紫外線光束，使空氣中產生大量的自由電子，這些電子大部分能被氧氣所獲得，形成負氧離子，負氧離子不穩定，很空易失去一個電子而變成活性氧（臭氧），臭氧是高級氧化劑，可以氧化分解有機物和無機物，對苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、醇類、酯類等高分子物質，都可以與臭氧發生反應，在臭氧的作用下，這些惡臭氣體由大分子物質被分解為小分子物質，直至礦化。紫外光束在TiO2催化下產生·OH(羥基自由基)，該物質電位高于臭氧，是一種更強的氧化劑，對高分子氣體進行協同分解氧化反應，使其鏈結構斷裂，使惡臭氣體及高分子物質轉化為無臭味的小分子化合物，然后生水和二氧化碳。
