半導體設備濾芯是用于半導體設備中對進入或排放的氣體或液體進行過濾和凈化的關鍵部件。它能夠有效過濾微小顆粒、液滴和氣味，并能去除空氣和水分中的各種雜質和污染物，保護設備和制品的純度和品質。
半導體行業作為高科技領域的重要組成部分，涉及到多個環節，其中制造環節尤為重要。在半導體芯片制造過程中，各種工藝步驟都需要使用高純度的氣體和液體，而這些關鍵材料的純度直接決定了芯片的品質和性能。因此，對進入制造設備的氣體和液體進行過濾和凈化，是確保產品品質和工藝穩定性的重要保證。
半導體設備濾芯原理：
過濾器工作時，待過濾的水由水口進入，流經濾網，通過出口進入用戶所須的管道進行工藝循環，水中的顆粒雜質被截留在濾網內部。如此不斷的循環，被截留下來的顆粒越來越多，過濾速度越來越慢，而進口的污水仍進入，濾孔會越來越小，由此在進、出口之間產生壓力差，當大度差達到設定值時，差壓變送器將電信號傳送到控制器，控制系統啟動驅動馬達通過傳動組件帶動軸轉動，同時排污口打開，由排污口排出，當濾網清洗完畢后，壓差降到小值，系統返回到初始過濾狀，系統正常運行。過濾器由殼體、多元濾芯、反沖洗機構、和差壓控制器等部分組成。
殼體內的橫隔板將其內腔分為上、下兩腔，上腔內配有多個過濾芯，這樣充分了過濾空間，顯著縮小了過濾器的體積，下腔內安裝有反沖洗吸盤。工作時，濁液經入口進入過濾器下腔，又經隔板孔進入濾芯的內腔。大于過濾芯縫隙的雜質被截留，凈液穿過縫隙到達上腔，后從出口送出。
半導體設備濾芯的類型和種類繁多，涉及到多種材質和過濾原理。常見的濾芯包括機械濾芯、活性炭濾芯和超精濾芯等。其中，機械濾芯利用過濾網和纖維材料過濾顆粒和液滴，適用于顆粒大小較大的氣體和液體過濾。活性炭濾芯采用吸附原理去除雜質和氣味，適用于凈化空氣和不易被捕捉的氣體或液體。超精濾芯則是使用微孔石英或鋯石等特定材料，過濾顆粒和液滴細小到納米級別，可用于高純度氣體和液體的制造和輸送。
在半導體設備中，濾芯的作用與價值不言而喻。半導體芯片的制造過程需要用到諸多高純度氣體和液體，如制作硅片時用的氣體，制作光刻膠時用的液體及氣體等等，若其中出現一些微小顆粒、煙灰甚至是空氣雜質，就可能影響制造質量及成品的性能，因此在這個過程中使用濾芯是非常必要的。
