低溫等離子體廢氣處理設備采用低溫等離子體分解氣體污染物時，等離子體中的高能電子起決定性作用。數萬度的高能電子與氣體分子（原子）發生非彈性碰撞，將能量轉化成基態分子（原子）的內能，發生激發、離解、電離等一些列過程，使氣體處于活化狀態。電子的能量較低時，產生活性自由基，活化后的污染物分子經過等離子體定向鏈化學反應后被脫除。當電子平均能量超過污染物分子化學鍵結合能時，分子鍵斷裂，污染物分解。
低溫等離子體廢氣處理設備通過收集管道將廢氣氣體送入等離子凈化設備內，利用低溫等離子體分解氣體污染物的原理對煙霧、異味廢氣進行處理，從而達到消除廢氣異味的目的。
低溫等離子除臭技術又稱非平衡等離子體技術，通過在外加電場的作用下，介質放電產生大量的高能電子，高能電子與VOC s分子發生一系列復雜的等離子體物理和化學反應，從而把有機污染物降解為無毒無害物質的一種方法。
低溫等離子體技術應用于惡臭氣體治理，具有處理效果好，運行費用低廉、無二次污染、運行穩定、操作管理簡便、即開即用等優點。
①介質阻擋放電產生電子能量高，低溫等離子體密度大，達到常用等離子技術（電暈放電）的1500倍，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；
②技術反應速度快，氣體通過反應區的速度達到3-15米/秒，即達到很好的處理效果，其他技術氣體通過反應區的速度0.01米/秒都很難達到的處理效果；
③應用范圍廣闊，基本不受氣溫和污染物成分的影響，對惡臭異味的臭氣濃度有良好的分解作用，惡臭異味的去除率達80-98%，處理后的氣體臭氣濃度達到國家標準；
在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。
