高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)
錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)是具備提供高低溫、真空以及磁場(chǎng)環(huán)境的高精度實(shí)驗(yàn)臺(tái),它的諸多設(shè)計(jì)都是專用的。因此,高低溫磁場(chǎng)探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如,要求的磁場(chǎng)值,均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺(tái)的尺寸等,均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關(guān)聯(lián);位移臺(tái)還可與磁流體密封搭配,實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng);除此之外,該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶,可以磁場(chǎng)的高穩(wěn)定性。因此,該類型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。半導(dǎo)體測(cè)量實(shí)驗(yàn)臺(tái)真空磁場(chǎng)探針臺(tái)高低溫型
錦正茂高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái)探針臺(tái)配備4個(gè)(可選6個(gè)或8個(gè))擁有高精度位移的探針臂,同時(shí)配有高精度電子顯微鏡,便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào),用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)等領(lǐng)域。
應(yīng)用范圍:
磁特性測(cè)試、微波特性測(cè)試、直流、RF特性測(cè)試,微電子機(jī)械系統(tǒng),超導(dǎo)電性測(cè)試,納米電路的光電屬性,量子點(diǎn)和線,高低溫真空環(huán)境下的芯片測(cè)試,材料測(cè)試,霍爾測(cè)試,電磁輸運(yùn)特性等。半導(dǎo)體測(cè)量實(shí)驗(yàn)臺(tái)真空磁場(chǎng)探針臺(tái)高低溫型
可選附件:
t 各類DC探針、高頻探針、主動(dòng)式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運(yùn)動(dòng)裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導(dǎo)磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級(jí)
t 超高溫升級(jí)選件
t 超高真空升級(jí)選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉(zhuǎn)接頭
技術(shù)指標(biāo):
高低溫真空磁場(chǎng)探針臺(tái) | ||||
型號(hào) | T8-EM4 | T8-EM5 | T8-EM7 | |
真空度 | 真空上等高達(dá)10-8Pa | |||
腔體材質(zhì) | 無(wú)磁不銹鋼或者鋁合金 | |||
磁場(chǎng)范圍 | 2000Gs @50mm | 5000Gs@50mm | 1T@50mm | |
磁場(chǎng)方向 | 水平(可按用戶要求設(shè)計(jì)成豎直方向的) | |||
配套電源 | 雙極性電源±50A | 雙極性電源±70A | 雙極性電源±90A | |
電源穩(wěn)定性 | 50ppm(可選10ppm) | |||
制冷方式 | 液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機(jī) | |||
溫度范圍 | 5K-325K可選500K | |||
控溫分辨率 | 0.001K控溫儀相關(guān) | |||
溫度穩(wěn)定性 | 優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀 | |||
溫度傳感器 | 硅二極管/PT100/CernoxTM | |||
傳感器數(shù)量 | 樣品臺(tái)、防輻射屏、探針臂各一個(gè) | |||
樣品臺(tái)尺寸(max) | Φ50mm,平整度≤7μm | |||
樣品臺(tái)固定方式 | 真空硅脂/彈簧壓片 | |||
樣品臺(tái)材質(zhì) | 鍍金無(wú)氧銅 | |||
顯微鏡行程 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z軸行程≥50.8mm | |||
放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X | |||
真空腔觀察窗尺寸 | 1inch | 1.5inch | 2inch | |
窗口材料 | 熔融石英(可選K9、氟化鈣等) | |||
探針臂數(shù)量 | 2、4、6、8可選 | |||
探針臂行程 | (X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換 | |||
位移精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 | |||
接口形式 | 普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等 | |||
探針直徑 | 0.51mm | |||
針尖直徑 | 10μm/5μm/1μm可選 | |||
探針材料 | 鎢/GGB | |||
供電電壓 | AC220V 50Hz/60Hz | AC380V 50Hz/60Hz |
注:北京錦正茂科技有限公司接受任何形式的定制,精度高,周期短。