無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱智能功能:
1.機臺配備MES通訊功能;
2.人機界面和PLC,可依使用者區分制程/設備/OP權限;
3.主溫控溫度實時顯示于人機界面;
4.氮氣流量顯示人機界面,也可在人機界面設定氮氣ON/OFF,隨RECIPE設定;
5.機臺上下箱各配備一臺掃描槍;
6.制程條件參數改于人機畫面上以表格化方式輸入,只要依序輸入欲制程條件系統即會自動轉入溫控器;
7.系統可與客戶IT進行連接,可選用條形碼上傳IT后,接收由IT比對下載制程數據或直接接收IT所下載制程數據方式,系統并自動將制程寫入溫控器,達到遠程制程下載,避免人員制程選擇操作錯誤問題;
8.系統提供主控點溫度、六點溫度、氮氣流量值及設備狀態數據可供IT進行連接讀取,讓客戶端可遠程隨時掌握設備狀況;
9.超溫防止器與人機連接,隨RECIPE設定;
10.具有馬達轉速偵測功能,且在人機顯示轉速;
11.人機有異常履歷可查詢。
無氧烘箱,智能無氧雙層烘箱技術參數(以下數據均為單箱參數,每個箱體單獨控制、運行)
溫度范圍: RT+10~300/400/500℃;
內箱尺寸: 450*450*450,500*600*700;可定制
升溫速率(空載):0-15℃/min;
降溫方式 :自然降溫/水冷/風冷;
氧含量: ≤50ppm,實時檢測并顯示;
控溫穩定度: ≤±1℃;
溫度均勻度:≤±1.5%℃(空載);
腔體數量:2/3/4/6腔體可選。