薄膜厚度測量范圍 (Thickness Range): 1 nm - 1.8 mm
波長范圍 (Wavelength Range): 200 nm - 1700 nm
精度 (Precision): <0.01 nm or 0.01%
穩定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%
光斑大小 (Spot Size): Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm)
功能: 測量薄膜厚度、光學常數,反射率和透過率
單層膜或多層膜疊加層; 適用于幾乎所有透明,半透明,低吸收系數的薄膜測量,包括液態膜或空氣層。
測試條件: 平面或曲面
可配XY平臺實現全樣品膜厚 mapping
FT-100 薄膜厚度測量儀
FT-100 薄膜厚度測量儀
薄膜厚度測量范圍 (Thickness Range): 1 nm - 1.8 mm
波長范圍 (Wavelength Range): 200 nm - 1700 nm
精度 (Precision): <0.01 nm or 0.01%
穩定性 (Stability): <0.02 nm or 0.03%
光斑大小 (Spot Size): Depends on objective (4 um to 200 um. 2mm)
功能: 測量薄膜厚度、光學常數,反射率和透過率
單層膜或多層膜疊加層; 適用于幾乎所有透明,半透明,低吸收系數的薄膜測量,包括液態膜或空氣層。
測試條件: 平面或曲面
可配XY平臺實現全樣品膜厚 mapping
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可集成于以上測試平臺 ( 三維輪廓儀,微納米壓痕/劃痕儀,摩擦磨損儀等)