日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ
特征
支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備
使用磁控管陰極
內置微機,高精度控制成膜過程
操作方式為全自動/手動2種模式
標配自動快門機構
應用/結果示例
W/Ni/Cr/Ti等的成膜
燃料電池基礎實驗
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ
基本規格
陰極 | φ2寸磁控陰極 |
快門機制 | 自動/手動操作 |
氣體引入機制 | 針閥(自動/手動控制) |
真空泵 | 直聯回轉泵:100l/min(帶自動漏氣) |
腔室尺寸 | 內徑φ160mm x D160mm(SUS制) |
樣品交換方式 | 前門開閉式 |
尺寸(寬/深/高) | 機身: 360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm |
重量 | 身體:20kg RP:23kg |