熱式質量流量控制器 (MFC)能在很大范圍內測量和控制氣體流量，并不受氣體溫度和壓力的影響。其工作原理基于對熱量傳導和流量的測量。
HovaGas將質量流量控制器的優點與智能操控結合起來，通過靈敏的按鍵和圖像顯示屏(觸屏）實現儀表操作。
HovaGas 的核心是數字氣量控制單元（GMU）—一個專為混合氣體而設計的微處理器。它通過可視化的人機交互軟件實現流量的實時控制。
質量流量控制器
功能
HovaGAS能通過接口RS232與電腦連接，實現遠程操控。Windows操作系統的電腦安裝軟件viewGAS后，HOVAGAS的操作界面將以流程圖的形式展現。HovaGas 的所有功能（包括數據的讀取和存儲）都可以遠程操控。此外viewGAS 還可以定時控制氣體濃度輸入。
每一個氣體流量和濃度都會展示在趨勢圖。一個合適的校準方案會產生多項式曲線，擴大存儲空間。
技術優勢
?自動調節濃度
?自動計算氣體流量
?壓差和溫差不影響質量流量測量
?內部存儲校準數據
?高精度經過多項校準
?同時最多混合8種氣體
?測量和規定范圍可根據客戶要求定制
?通過接口與外部PC連接控制
?自動程序控制
?通過校準檢查質量流量控制器
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技術參數
| 氣體通道數量 | 最多8個 |
| 測量范圍（可根據要求定制） | 最小: 3 mln/min / .: 1000 ln/min |
| 測量規定范圍 | 流量的10-99% |
| 混合和稀釋比例 | 取決于質量流量控制器和總流量：1:1000000 |
| 精度（經多項校準） | 優于測量值的0.5% |
| 再現性 | 優于限值的0.1% |
| 觸屏 | PTFE, 不銹鋼SS316，Viton® 可選: Kalrez® |
| 輸入壓力范圍 | 0.5-5.0 bar可根據要求調節 |
| 輸出壓力 | 比入口壓力低100 mbar |
| 壓力偏差 | 在上述壓力范圍內可忽略不計 |
| 氣體接口 | 6 mm Swagelok卡套接口或根據客戶需求定制 |
| 混合區 | 內部，可選外部 |
| 預熱時間 | 30min |
| 屏幕 | LCD 藍色/白色 240 x 128 dot 背景照明Touch-Felder觸摸領域 |
| 電壓 | 110-240 V |
| 外殼 | 箱體，可選臺式或19“-插入式 |
| 箱體尺寸 | 53 x 21 x 44 cm (W x H x D) 做多帶5個質量流量控制器 |
