horiba微量氣體分析儀 GA-370
概述
痕量氣體分析儀GA-370對痕量雜質(CO、CO 2、 CH 4)具有ppb級的超高靈敏度和高精度,適用于制氫廠、空分廠、半導體等氣體生產設備的質量控制生產線。連續連續監測是可能的。它可用于各種背景,例如H 2、N 2、空氣、Ar、CO 和 CO 2。一臺設備可以同時測量兩種成分。
特征
實現超靈敏分析
? 采用交叉調制非色散紅外吸收法(NDIR),實現零漂移,可長時間穩定連續測量。
? 10 ppb 的z低檢測靈敏度使其非常適合需要精度的場所。
可在純氣體中進行痕量測量
? 與典型氣體 N?、O?、He、Ar、H? 和 Air 兼容。
* 其他基礎氣體請聯系我們。操作簡單,免維護
? 無需特殊操作即可使用。校準和測量等所有操作都可以在屏幕上進行。
? 采用HORIBA新創的不需要光學調整的交叉調制非色散紅外吸收方法,實現了免維護。
? 采用彩色觸摸屏,液晶屏可顯示圖形,提高可視性。
horiba微量氣體分析儀 GA-370
規格
格式 | GA-370 |
測量對象 | 基礎氣體(N 2、O 2、He、Ar、H 2、空氣)中的CO、CO 2、CH 4 |
被測組件數 | 1 個組分或 2 個組分(測量基礎氣體名稱) |
測量原理 | 交叉調制法 非色散紅外吸收法 (NDIR) |
測量范圍 | 0 到 1/2/5/10 ppm |
小檢測靈敏度 (2σ) | 10 ppb |
重復性 | ± 2% 滿量程 |
線性(指示誤差) | ± 2% 滿量程 |
零漂移 | ± 0.02 ppm/天,± 0.03 ppm/周 |
跨度漂移 | 滿量程±2%/天,滿量程±3%/周 |
響應時間 | 設備入口 90% 響應 180 秒或更短 |
使用的氣體流量 * | 樣氣:約 3.5 L/min,比較氣:約 3.5 L/min,量程氣:約 3.5 L/min 對于 |
模擬輸出 | 2ch絕緣輸出(濃度) |
安裝條件 | 環境溫度:0-40°C |
外形尺寸,質量 | 430 (W) x 221 (H) x 555 (D) mm(不包括突出部分),約 18 kg |
電源 | AC 100-240 V ± 10%(電壓:250 V) |
能量消耗 | 常規時間約 100 VA |