KEWILL-超微量氣體流量計(jì)
原理&結(jié)構(gòu)
FGM220 質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）是一款智能化、高精度可進(jìn)行準(zhǔn)確的質(zhì)量流量控制的氣體質(zhì)量流量控 制器產(chǎn)品。該產(chǎn)品配備有電磁比例閥、不銹鋼1.4435接液材質(zhì)、高精度微機(jī)電流量芯片等，具有精度高、 響應(yīng)速度快、穩(wěn) 定性好等特點(diǎn)。 操作 使用方便，可任意位置安裝，廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制 氣配氣等行業(yè) 。
特點(diǎn)
分析和環(huán)保 半導(dǎo)體加工 燃燒控制器 真空技術(shù) 表面處理 食品和制藥 化工（石化）等過程控制
應(yīng)用
溫度和壓力不敏感 *的零點(diǎn)穩(wěn)定性 超快的響應(yīng)速度 良好的重復(fù)性和再現(xiàn)性 多種信號(hào)輸出方式 配備高*比例電磁閥
技術(shù)參數(shù)
核心參數(shù)說明 | |
介質(zhì)要求： | 潔凈干燥無腐蝕性氣體 |
介質(zhì)種類： | 空氣、氮?dú)狻鍤狻⒍趸?/span> |
氦氣、氫氣、甲烷、氧氣等 | |
量程： | 0...50/100/500/1000 SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升) |
0...5/20 SLM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升) | |
精度： | 1.0% F.S |
1.5% F.S. | |
分辨率： | *低 0.01SCCM(每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升) |
響應(yīng)時(shí)間： | ≤1S |
環(huán)境條件 | |
介質(zhì)溫度： | 0...50℃ |
工作溫度： | -20...70℃ |
工作濕度： | 10%...90%RH（無結(jié)冰，無凝露） |
工作壓力： | 0...10bar |
儲(chǔ)存溫度： | -20...85℃ |
電氣參數(shù) | |
供電電壓： | DC24V |
功耗： | 2.4W |
啟動(dòng)時(shí)間： | <1S |
預(yù)熱時(shí)間： | <10mS |
信號(hào)類型 | |
模擬信號(hào)（電流、電壓） | |
接口類型： | D-SUB 9 針 |
電壓信號(hào)： | 0...5V & 1...5V |
電流信號(hào)： | 4...20mA |
數(shù)字信號(hào)（RS485） | |
接口類型： | RJ45和D-SUB 9 針 |
通信速率： | 4800,9600(默認(rèn)),14400,19200,38400,56000,57600, |
115200,28000,230400,256000,460800,500000 （可 | |
通過指令或者上位機(jī)修改） | |
協(xié)議： | RS485（默認(rèn) Modbus-RTU協(xié)議） |
設(shè)備地址： | 1(默認(rèn))-250(可通過指令或者上位機(jī)修改) |
*大節(jié)點(diǎn)數(shù)： | 250 |
機(jī)械參數(shù) | |
接頭類型： | 卡套：8mm、12mm |
快插：6mm，8mm | |
協(xié)議定制 | |
主體材質(zhì)： | 接液底座：陽(yáng)極氧化鋁合金 |
不銹鋼1.4301(不銹鋼304) | |
不銹鋼1.4435(不銹鋼316L) | |
外殼：碳鋼 | |
密封材質(zhì)： | FKM 氟橡膠 |
重量： | 鋁：≈0.75kg |
不銹鋼：≈1.5kg |
尺寸圖
選型表
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