Formtracer Extreme (超級表面粗糙度/ 輪廓測量裝置)
525系列 — CNC 表面粗糙度和輪廓測量系統
產品特點 |
●高精度觸針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。 |
●X1軸和Z2軸的驅動速度分別為40mm/s和200mm/s,可以高速定位,從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。 |
●X1 軸和Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺,從而可以實現高分辨力的輪廓/ 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。 |
●Z1軸檢出器采用主動控制方式,減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。 |
●Z1軸檢出器集成了防碰撞安全裝置,當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時,檢測裝置可以自動停止工作。 |
●CS-5000CNC帶有a軸,可以通過電動旋轉X1軸連續測量水平面和傾斜面。 |
●帶有Y軸工作臺的型號,可沿Y軸進行多工件定位,從而增加了多工件測量范圍。 |
●可選的外部控制功能(外部I/O),與PLC實現雙向通信(RS-232C)。 |
產品規格 |
貨號 | CS-5000CNC | CS-H5000CNC | ||
X1 軸 | 測量范圍 | 200mm | ||
分辨力 | 0.00625μm | |||
長度基準 | 激光全息測微計 | |||
驅動速度 | CNC型 | 40mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 40mm/s | |||
測量速度 | 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度), 0.02 - 2mm/s (形狀/輪廓) | |||
測量方向 | 向前/ 向后 | |||
直線度 | (使用標準測針) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm) | (0.05+0.0003L)μm L: 驅動長度 (mm) | |
(使用二倍長型測針) | (0.2+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm) | (0.1+0.0015L)μm L: 驅動長度 (mm) | ||
精度(20℃) | ±(0.3+0.002L)μm L: 驅動長度 (mm) | ±(0.16+0.001L)μm L: 驅動長度 (mm) | ||
Z1 軸 (檢出器 | 測量范圍 | (使用標準測針) | 12mm | 12 μm |
(使用二倍長型測針) | 24mm | 24 μm | ||
分辨力 | (使用標準測針) | 0.004 μm | 0.001 μm | |
(使用二倍長型測針) | 0.008 μm | 0.002 μm | ||
測針針尖垂直運 | 弧形移動 | |||
長度基 | 激光全息測微計 | |||
精度 (20oC) | ±(0.3+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ±(0.07+|0.02H|)μm H: 測量高度 (mm) | ||
測力 | (使用標準測針) | 4mN (固定) | ||
(使用二倍長型測針) | 0.75mN (固定) | |||
跟蹤角度 | 向上: 60o, 向下: 60o, (根據表面粗糙度) | |||
測針針尖形狀 | 標準測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | ||
標準球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 | |||
2倍測針 | 針尖角度: 40o, 針尖半徑: 5μm, 金剛石針尖 | |||
2倍測針 | — | 針尖角度: 60o, 針尖半徑: 2μm, 金剛石針尖 | ||
2倍球頭測針 | 球頭針尖半徑: 0.25mm, 藍寶石 | |||
測針方向 | 向下 | |||
Z2 軸 (立柱) | 行程范圍 | Z2 軸 (立柱, S 型) | 300mm | |
Z2 軸 (立柱, H 型) | 500mm | — | ||
分辨力 | 0.05 μm | |||
長度基準 | 反射型線性編碼器 | |||
驅動速度 | CNC型 | 200mm/s | ||
操縱桿 | 0 - 50mm/s | |||
基座尺寸 (W×D) | 750×600mm | |||
基座材 | 花崗巖 |
產品選件 |
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帶十字移動的調水平工作臺 | 精密卡鉗 | V型塊 |
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帶夾鉗的V型塊 | 調心快速卡盤(滾花環固定) | 微型快速卡盤 |
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旋轉工作臺θ1 軸工作臺 | 潤滑油 | 旋轉工作臺θ2軸組件 |
數據處理軟件 |
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測量控制 僅單次測量時有單獨模式、建立工件測量程序,對同一工件進行多個測量時有學習模式,具備多用途的可選模式。針對CV-4500 系列的上下兩面連續測量和測力可變等新功能(詳細內容請參見P1),提高了使用方便性。 | 按鈕編輯功能 任何暫時不用的按鈕或顯示域可以出現也可以人為地將其隱藏起來,以便使操作者依照方便與否自行規劃屏幕。 |
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標準配備輪廓比對功能 標準配備讓設計數據和測量數據坐標移動到位置的擬合功能。檢驗結果不于可視化圖像顯示,還可以顯示各坐標上的誤差量、誤差量展開。由于可以輸出文本文件格式,也可以用在向加工機的反饋數據等。 | 簡單間距計算功能 螺紋的間距、圓之間的間隔(圓心間距) 等多個同一形狀的間距分析,只需要操作鼠標范圍便可簡單地進行分析,能有效提高分析效率。 |