ROSI600系列氧分析儀對硅領域的分析的低靈敏度和高精度的要求。用固態紅外檢測系統靈敏度與我們全新設計的進樣系統和可編程脈沖爐相結合。提供準確和精確的氧含量的結果,比如硅片材料中氧的分析結果,低靈敏度和高精度也被應用到其他金屬工業。
ROSI600系列氧分析儀特征
1、非色散固態紅外檢測器,高精度,高分辨率;
2、可編程通過功率及電流控制的脈沖電極爐;
3、分析精度及準確度精確至ppm級別;
4、低空白值,配置適合硅片進樣的進樣口;
5、配置具有安全保護性能的試劑容器;
6、儀器全新的氣路設計需要更少的維修;
7、氧含量輸入采用ppma格式;
8、Windows@ 操作系統。
ROSI600系列氧分析儀產品特點
試樣的進樣系統設計可連續樣品加載,低大氣空白和高載氣純度。在進樣系統的滑槽式的設計中,硅片可連續進樣。雙密封,磁加載機械機構以及集成的氧/水氣捕集器,使得進樣系統實現零大氣污染,并保持更好的載氣氣體的純度。
ROSI600系列氧分析儀型號
ROSi600 氧分析儀配置電腦及平板顯示器和Windows操作系統
可選件
1、Smartline? Remote 遠程診斷
2、消耗品
3、自動清掃及自動進樣系統
應用
ROSi600 樣本