1 、主題內容與通用范圍

　　本標準給出了電力半導體器件工藝用高純水（以下稱高純水）的級別、技術要求、測試方法和規則。

　　本標準適用于去離子處理后的高純水。

　　2 、引用標準：GB11446電子級水及其檢測方法。

　　3 、術語

　　3.1 電導率 Electrical conductivity

　　在規定溫度下，1cm3水溶液兩相對面之間測得的電阻值的倒數。電導率通常以μS/cm為單位。

　　純水的理論電導率為0.05482 μs/cm (25℃時)。

　　3.2 電阻率 Resistivity，電導率之倒數。

　　純水的理論電阻率為18.248 MΩ.cm (25℃時)。溫度升高時電阻率下降。

　　3.3 總溶解性固體 Total dissolved solids（TDS）

　　水中溶解物質的總含量，包括鈣鎂離子、膠體、懸浮顆粒物、蛋白質、病毒、細菌、微生物及尸體。TDS通常以mg/L或ppm為單位。

　　3.4 總硬度（DH值）

　　水總硬度是指水中Ca2+、Mg2+的總量。

硬度一般以德國標示法為準，計為DH。即以每升水含氧化鈣10mg為1DH。小于8DH為軟水、大于17DH為硬水。