小型臭氧發生器的規格是按照臭氧發生的重量單位劃分的。臭氧產值的單位是mg/h或g/h（毫克/小時、克/小時），即臭氧發生器工作1小時能夠發生多少重量單位的臭氧。臭氧在空氣中的濃度單位是ppm或mg/m3。
臭氧在水中的濃度單位是ppm或mg/L.換算方法：在空氣中時1ppm=2 mg/m3;在水中時，1ppm=1mg/L.臭氧在大氣中到達必定的濃度時就會造成環境污染。我國規定在寓居環境，臭氧濃度超越0.15mg/m3時就構成空氣污染；在作業場所，臭氧濃度超越0.2mg/m3時就構成污染。
空氣中的臭氧濃度到達0.01-0.02mg/m3時，人即可嗅知。在對食品廠、藥廠、化妝品廠的生產車間消毒時，在車間潔凈度不超越30萬級時，空氣中的臭氧濃度到達10-20mg/m3即可，并且要密閉效果30分鐘的時刻。
假如一起需要對車間內已有的設備和物品消毒，臭氧濃度需要到達20-30mg/m3;假如是對10萬級、萬級、部分百級潔凈度的車間消毒時，臭氧濃度須到達30-100mg/m3.在對包裝材料進行臭氧熏蒸消毒時，消毒室/柜內空氣中的臭氧濃度一般在50-200mg/m3之間；在對生魚片、蝦仁等水產品進行臭氧水浸泡消毒時，水中臭氧濃度一般在0.8-1.0ppm之間。
