近年來,我國芯片企業數量增長迅速。2015年中國IC設計企業數量僅為736家,到2016年這個數字已經增至1362家。據集成電路產業專家介紹,芯片和液晶面板生產線單條投資一般都會達到百億元,相關水系統直接影響產品的品質和性能,超純水系統及工藝成為行業關注的重點。
超純水(Ultrapure water,UPW)指將水中的導電介質幾乎*去除,又將水中不離解的膠體物質、氣體及有機物均去除至很低程度的水。超純水的電阻率大于18MΩ·cm,接近18.3MΩ·cm極限值。“超純”強調了水中各類型的污染物被去除至近乎于零的含量,和常用的術語“去離子水”不同,除了常規的表征電解質含量的指標(電導率或電阻率)外,根據應用的不同還包括有機物和無機化合物、溶解和顆粒物質、細菌及溶解氣體等指標。
采用“換熱系統+多介質過濾器+活性炭過濾器+曲線微導力系統+Clean-EDI系統”的處理工藝。曲線微導力系統通過分離技術,將水中的離子與水分離,降低水中離子的含量,達到凈化水質及降低水中離子的目的,結合預處理系統、加藥系統等前處理系統,可實現水的預脫鹽目的。Clean-EDI工藝系統結合了混床和電滲析兩大工藝的特點,采用低壓循環再生模式,低能耗,模塊恢復性能佳,且在更換樹脂床或使用化學試劑進行樹脂再生時并不需要關閉系統,很大限度地減少了水的質量不穩定因素,同時簡化了操作和基建成本。
我國超純水市場目前處于成長期,市場規模迅速上升。萊特萊德曲線微導力系統能夠提高20-30%的水利用率,降低設備能耗10-20%,為用戶提供更優品質超純水。