塑封固化專用潔凈烘箱使用要求
塑封固化:注塑完成后,工件轉移至固化加熱爐,采用自動加熱的方式對其進行保溫固化,固化溫度維持在 175℃,固化時間為 8 小時。塑封固化的主要作用是消除塑封料內部的應力。此過程主要污染物:固化有機廢氣。
塑封固化專用潔凈烘箱性能
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
潔凈等級:Class 100;
溫度范圍:RT+10~250/450℃;
溫度均勻度:±1.5%℃;
溫度波動度:±1℃(空載);
溫控精度:0.1℃;
內腔尺寸:600*600*500(mm),可定制尺寸、多箱體一體式;
潔凈烘箱耐高溫高效空氣過濾器(HEPA)
a、內部 100 級潔凈過濾器,采用耐高溫高效過濾器使用有隔板設計,波紋形隔板可以精確地保持褶層間距
b、在最小阻力下,最大限度地利用濾料,過濾器濾材兩面 180 褶翻褶形褶層,濾料折彎時有兩道壓痕
c、使其在隔板的尾端開成鍥形盒式褶層,鍥形盒式褶層可以防止濾料破損
d、特點:
效率高、阻力低、容塵量大;
外框材質:不銹鋼;
濾料:超細玻璃纖維濾紙;
隔板:鋁箔;
過濾效率:≥99.99%;
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