有機廢氣處理催化燃燒裝置主要由換熱器、燃燒室、催化反應器、熱回收系統和用于凈化煙氣的排氣煙囪組成，凈化的原理是未經凈化的氣體在進入燃燒室前先預熱并送至燃燒室。在燃燒室內達到所需的反應溫度，在催化反應器中進行氧化反應。
催化燃燒是在較低溫度下對廢氣中可燃物質進行氧化和分解的凈化方法。因此，催化燃燒也被稱為催化化學轉化。由于催化劑加速了氧化和分解的過程，大多數碳氫化合物在300~450°c的溫度下可以通過催化劑氧化。
與熱燃燒方法相比，催化燃燒需要較少的輔助燃料，較低的能量消耗和較小的設備設施。然而，由于所用催化劑的中毒，催化床更換和清潔的高成本，該方法在工業生產過程中的推廣和應用受到影響。
在化學反應過程中，用催化劑降低燃燒溫度，加速有毒有害氣體氧化的方法稱為催化燃燒法。由于催化劑載體為多孔材料，比表面積大，孔徑合適，加熱到300-450℃時，氧氣和有機氣體吸附在多孔材料的表面催化劑上。這增加了氧氣和有機氣體接觸和碰撞的機會，增強了催化劑的活性。有機氣體與氧發生強烈反應，產生二氧化碳和過氧化氫，同時產生熱量，從而將有機氣體轉化為無害氣體。
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