石英等離子清洗機是專門針對高潔凈度敏感產品處理需求的產品。作為有針對的設計,提供多種配置功能選項。并具有高性能以及穩(wěn)定性,操作方便的使用特性。
并可以控制在極低的腔體溫度,特別適用于溫度敏感器件。
產品規(guī)格
型號 | JL-VQ05 | JL-VQ10 | JL-VQ15 | JL-VQ20 |
容量 | 5L | 10L | 15L | 20L |
功率 | 300W可調 | 500W可調 | 1000W可調 | 1000W可調 |
頻率 | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ |
腔尺寸 | D160*220 | D240*260 | D240×420 | D320×320 |
腔體材質 | 石英 | 石英 | 石英 | 石英 |
等離子體 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 |
真空度 | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 |
氣體流量 | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
氣體通道 | 二路 | 二路 | 二路 | 二路 |
外形尺寸 | 500(W)*550(D)*500(H) | 500(W)*550(D)*500(H) | 560(W)*700(D)*550(H) | 560(W)*700(D)*550(H) |
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石英等離子清洗機原理及功能簡介:
等離子體能與固體和氣體發(fā)生相互作用,這是等離子體在材料處理過程中發(fā)揮作用的前提。等離子體處理材料的四種基本工藝過程是:等離子體能產生高能粒子,等離子體能濺射產生金屬原子,等離子體能發(fā)生化學反應以及等離子體能高效地將電能轉化成為熱能。其中的某單一過程或多個過程都能對材料起到一定的改性作用。
石英等離子清洗機采用電感耦合式工作原理,利用真空泵達到一定的真空值后,在電感的作用下,形成了活性很高的等離子體,由此產生的等離子體可以達到表面改性清洗處理的效果。 通過其處理,能夠改善材料表面的浸潤能力,使多種材料能夠進行涂覆、鍍膜等操作,增強粘合力、鍵合力,同時去除有機污染物、油污或油脂。
該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料,并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。且不產生金屬污染。
應用范圍
u 材料科學
u 高分子科學
u 生物醫(yī)藥材料學,醫(yī)療支架
u 微流體研究及PDMS
u 微電子機械系統研究
u 光學
u 顯微術
u 電池極性材料,硅基,金屬半導體,陶瓷
u 科研、實驗、教學
產品優(yōu)勢
1、可以更靈活地操作,簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害
3、低成本。
產品特點
產品主要適用于規(guī)模生產/科學實驗
設備結構緊湊,操作簡單容易維護
引進德國核心等離子技術
石英材質,耐腐蝕,不產生金屬污染。
進口針閥精密流量控制計
多路工藝反應氣體通道
可以根據客戶需求定制