臭氧脫硫脫硝技術迅速將煙氣內的硫硝分解，沒有殘留，不產生二次污染。燒結煙氣脫硫脫銷技術臭氧低溫氧化脫硫脫硝臭氧發生器將不可溶的低價態氮氧化物氧化為可溶的高價態氮氧化物。臭氧可通過臭氧發生器在現場按煙氣中的氮氧化物濃度來定量生產。
燒結煙氣脫硫脫銷技術臭氧低溫氧化脫硫脫硝臭氧發生器在不同的NOx等污染物濃度和比例下，可以同時高效率脫除煙氣中的NOx、二氧化硫和顆粒等污染物，同時還不影響其他污染物控制技術，是傳統脫銷技術的一個高效補充技術。
臭氧脫除氮氧化物是一個低溫系統，不需要像SCR和SNCR系統那樣需要較高的溫度窗口。臭氧發生器可以是對生產過程中煙氣中的NOx量做出及時的響應。無論煙氣流量或者氮氧化物含量的波動，臭氧發生系統都可以在線及時響應，在節省能量的同時控制凈煙氣中氮氧化物的排放量。
NO經臭氧轉化后進入脫硫塔，在脫硫塔中NO2、N2O5等氮氧化物迅速的與噴淋下來的堿性漿液接觸反應，生成硝酸鹽等物質，隨著脫硫副物硫酸鹽一起進入脫硫后處理裝置。臭氧與NOx的反應是非常快速的，這使臭氧成為在處理NOx時具有較高的選擇性，通過控制反應時間和臭氧的數量很容易控制對CO和SOx等化合物的氧化反應，使得在脫硝中臭氧利用率高。NO和NO2溶解度：
當臭氧數量足夠多時，可以將NOx氧化成為N2O5，然后生成硝酸(或者硝酸鹽)，主要的化學反應如下：
NO+O3→NO2+O2
2NO2+O3→N2O5+O2
N2O5+H2O→2HNO3
N2O5和HNO3是非常易溶于水。N2O5與水瞬間反應形成硝酸。由于硝酸具有高的可溶性(接近無窮大)，所以它難以衡量，因此，可靠的溶解度數據在發表的文獻上是不可使用的。然而，硝酸與水可以按各種比例混合，因此在有水存在的情況下，N2O5到硝酸的反應不可逆轉。
考慮到工程上的經濟性，工程實施時一般選擇是把NOx氧化成為NO2，然后通過脫硫塔內的堿性吸收劑進行酸堿中和反應生成亞硝酸鹽。本工程后續煙氣脫硫采用濕式氨法的脫硫工藝，具體的化學反應如下：
NO+O3→NO2+O2
2NO2+2NH3?H2O+1/2O2→2NH4NO3+H2O
實際過程中并不需要*的脫除煙氣中所有的氮氧化物，所以可以根據煙氣中的氮氧化物濃度，同時根據環保的要求，來定量的加入臭氧。這樣即達到環保的要求，同時又保證了運行的經濟性。
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