UV紫外線光解和等離子技術是現今應用于有機廢氣降解的兩種方法。采用這兩種辦法，都能將廢氣中的有機成份，分解為無害的水及二氧化碳，并預防了二次污染。但這兩種方法，仍各有優缺點。
UV光解是利用特殊的低壓紫外燈管能同時發射出185nm紫外線和254nm紫外線的雙光譜特性。燈管發射出的185nm紫外線，能觸發空氣中的O2（氧），轉化為O3（臭氧）。臭氧具有很強的氧化能力，其與廢氣中的碳氫化合物（如苯類、烴類、醇類、脂類等）充分混合接觸后，在燈管發射出的254nm紫外線的照射催化條件下，能將這些有害污染物，直接氧化分解為水和二氧化碳。由此可見，紫外燈管發射出的185nm紫外線，起到了提供氧化反應物的作用；而燈管發射出的254nm紫外線，起到了提供光解反應順利進行的必要反應條件的作用。但紫外燈管的臭氧產生能力較低，如現在使用普遍的150W U形臭氧紫外線燈管，在氧氣充足的條件下，每小時的臭氧產生量約為900mg左右，即其單位功率每小時的臭氧產生量僅為6mg/w。而臭氧作為光解反應中的一種主要的反應物質，其產生量的多少，直接影響著處理效果的好壞。
等離子技術，是利用高壓的電場，使空氣中的O2電離產生O3，其臭氧產生效率要比紫外燈管高很多。如60W石英真空等離子管，其每小時的臭氧產生量約為6000mg左右，即其單位功率每小時的臭氧產生量為100mg/w，是紫外燈管單位功率臭氧產生量的16倍。但等離子管幾乎不發射出紫外線。缺少了紫外線的催化作用，在單純采用等離子工藝的廢氣處理裝置中，臭氧與有機廢氣的反應變得緩慢困難，同樣制約了設備的處理效能。
因此，我們嘗試將這兩種處理方案結合起來。將等離子裝置布置在光解設備的前段，離子裝置產生的O3與有機廢氣混合后，流經紫外線燈管。紫外線燈管能進一步地觸發O3的生成，同時在燈管254nm紫外線的催化作用下，O3與有機物的反應效能大幅提升，從而取得理想的處理效果。由于等離子裝置較紫外燈管高得多的臭氧產生效能，使得設備的功耗隨之降低，節能。
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