臭氧滅菌屬于生物化學氧化反應,臭氧氧化分解了細菌內部氧化葡萄糖所必須的酶;也可直接與細菌、病毒發生作用,破壞其細胞壁和核糖核酸,分解DNA、RNA、蛋白質、脂質類和多糖等大分子聚合物,使細菌的物質代謝生長和繁殖過程遭到破壞;還可以滲透胞膜組織,侵入細胞膜內作用于外膜脂蛋白和內部的脂多糖,使細胞發生通透性畸變,導致細胞的溶解死亡,并且將死亡菌體內的遺傳基因、寄生菌種、寄生病毒粒子、噬菌體、支原體及熱原(細菌病毒代謝產物、內毒素)等溶解變性滅亡。縱觀無菌技術對微生物作用的原理可分為抑菌、殺菌和溶菌三種,應用臭氧作滅菌劑是屬于溶菌。
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