低溫等離子廢氣處理設備主要使用等離子發裝置產生的離子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子物質，或使有毒有害物質轉變成沒有毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。
近年，涌現出許多治理工業廢氣污染問題的各種技術，如、光催化氧化、生物法、冷凍法、焚燒法等。其中低溫等離子體作為一種效率高、低能耗、處理量大、操作簡單的環保新技術來處理有毒、有害及難降解物質，低溫等離子設備是近年來一項重大科技成果，具有其它方法的優勢。
低溫等離子體技術應用范圍廣，氣體的流速和濃度對于氣態污染物治理技術應用來說是兩個非常重要的因素。生物過濾和燃燒技術能應用于較高濃度范圍，但卻受氣體的流速所限。而低溫等離子體技術對氣體的流速和濃度都有一個很寬的應用范圍，低溫等離子設備其應用廣泛不言而喻。等離子體技術工藝簡單。吸附法要考慮吸附劑的定期更換，脫附時還有可能造成二次污染;燃燒法需要很高的操作溫度;生物法要嚴格控制pH值、溫度和濕度等條件，以適合微生物的生長。而低溫等離子體技術則較好的克服了以上技術的不足，反應條件為常溫常壓，反應器結構簡單，低溫等離子設備并可同時消除混合污染物(有些情況還具有協同作用)，不會產生二次污染等。就經濟可行性來說，低溫等離子體反應裝置本身系統構成就單一緊湊，在運行費用方面，微觀來講，因放電過程只提高電子溫度而離子溫度基本保持不變，這樣反應體系就得以保持低溫，低溫等離子設備所以不僅能量利用率高，而且使設備維護費用也很低。
低溫等離子體技術在氣態污染物治理方面優勢顯著。其基本原理是在電場的加速作用下，產生電子，當電子平均能量超過目標治理物分子化學鍵能時，分子鍵斷裂，達到消除氣態污染物的目的。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→電子
(2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體技術在環境工程中的應用：
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生很大的危害，工業廢氣的無控制排放使大氣環境日益惡化。低溫等離子設備因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術或根本達不到所要求的處理效率。
是否是低溫等離子體處理技術的簡單判斷方法：
現在，各傳媒上宣傳低溫等離子廢氣處理的產品和技術很多，低溫等離子設備可這些產品的宣傳大部分都是在炒低溫等離子體概念。如何判斷是否是真正意義上的低溫等離子體技術?可以用下面兩個簡單的規則來判斷，即使你不懂低溫等離子體技術也能判斷出是真是假。
低溫等離子體去除污染物的機理：
等離子體化學反應過程中，低溫等離子設備等離子體傳遞的化學能量在反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1) 電場+電子→電子
(2) 電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團
(3) 活性基團+分子(原子)→生成物+熱
(4) 活性基團+活性基團→生成物+熱
從以上過程可以看出，低溫等離子設備電子首先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子體技術在環境工程中的應用：
隨著工業經濟的發展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業產生的揮發性有機廢氣也日漸增多。這些廢氣不僅會在大氣中停留較長的時間，還會擴散和漂移到較遠的地方，給環境帶來嚴重的污染。這些廢氣吸入人體，直接對人體的健康產生很的危害，工業廢氣的無控制排放使大氣環境日益惡化。低溫等離子設備因此選擇一種經濟、可行性強的處理方法勢在必行。低溫等離子廢氣處理設備在此情況下應運而生。
降解揮發性有機污染物(VOCs)傳統的處理方法如吸收、吸附、冷凝和燃燒等，對于低濃度的VOCs很難實現，利用低溫等離子體處理VOCs可以不受上述條件的限制，具有很大的優勢。但由于等離子體是一門包含放電物理學、放電化學、化學反應工程學等基礎學科之上的交叉學科。因此, 目前能成熟的掌握該技術的單位非常的少。大部分宣傳采用低溫等離子技術處理廢氣的宣傳都不是真正意義上的低溫等離子廢氣處理技術或根本達不到所要求的處理效率。
