石墨烯專用生長爐由滑動開啟式真空管式爐，混氣系統，真空及壓力系統等組成。通過滑動戶體來實現快速的升降溫﹔配置不同的真空系統來達到理想的真空度﹔同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。

主要用途和適用范圍:

用于石墨烯生長、研發的專用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。

技術參數:

爐體結構

雙層爐殼間配有風冷系統，有效保證外殼表面溫;

*真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩

爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻支撐兩端安裝油壓緩沖器

爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料

電源

電壓:AC220V 50/60Hz;功率:4kw

爐管

高純石英管，高溫下化學穩定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數極小

尺寸:40/60/80/100*1200mm

法蘭及支撐

sUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合

加熱系統

加熱元件采用優質合金絲0Cr27AI7Mo2，表面負荷高、經久耐用加熱區長度:410mm

恒溫區長度:200mm

工作溫度:≤1150℃溫度:1200t℃升溫速率:10℃/min

溫度:1200℃升溫速率:10℃/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術，具有PID調節、自整定功能30段升降溫程序

測溫元件:N型熱電偶恒溫精度:±1℃

混氣系統

三路質量流量計:數字顯示、氣體流量自動控制內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥管路采用不銹鋼管，接口為中6卡套

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥通過控制面板上的旋鈕來調節氣體流量流量規格:0~1SLM

流量精度:±0.5%

真空系統

采用雙極旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr

數顯式真空壓力表

可選高真空系統及真空計，壓力控制系統等

標準配置

主機1臺，密封法蘭1套，“O"”型圈4個，石英管1根，管堵4個，紺蝸鉤1把，

說明書、合格證、保修卡各1份

可選配件

混氣系統中、高真空系統，各種剛玉、石英紺蝸，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀等。