電子半導體行業超純水EDI系統
1,電子半導體行業 |
★水質要求 ☆二級反滲透制備超純水工藝流程 預處理(砂濾器、碳濾器、軟化器) →一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置 →超純水水箱→純水泵→用水點 ☆一級反滲透+混床制備超純水工藝流程 預處理→一級反滲透裝置→精制混床→精密過濾器→超純水水箱→純水泵→用水點 ☆二級反滲透+拋光混床制備超純水工藝流程 預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→拋光混床→精密過濾器→超純水水箱→純水泵→用水點 ☆二級反滲透+EDI+拋光混床制備超純水工藝流程 (電阻率18MΩ.cm) 預處理→一級反滲透裝置→中間水箱→二級反滲透裝置→EDI主機→超純水水箱→純水泵→拋光混床→超純水水箱→純水泵→用水點 |
☆EDI超純水設備技術簡介 |