產品簡介:DX-7系晶棒及晶片角度測量儀是雙側工作臺,可同時進行操作,用于對晶棒及晶片的角度進行測量。
DX-7系列晶棒、晶片角度測量儀參數(shù)對比表
型 號 | DX-7B | DX-7BG | ||||||||||||||||||||||||
主要特點 | 設備構造:設備分為落地式一體機。 外型尺寸:1132(長)×642(寬)×1200(高)mm。
| |||||||||||||||||||||||||
設備精度 | 設備綜合精度為±30″ (以供方提供的標準石英片10ī1面測量) | 設備綜合精度為±15″ (以供方提供的標準石英片10ī1面測量) | ||||||||||||||||||||||||
最小讀數(shù) | 10″ | |||||||||||||||||||||||||
儀器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射線單晶定向儀由機臺、管套及各種機械附件組成的機械部分;由穩(wěn)壓器、控制器、高壓變壓器、放大器、計數(shù)器、風冷電機、X射線管及各種指示儀表組成的電氣部分構成。 | |||||||||||||||||||||||||
技術指標 | (1)X射線發(fā)生器部分: X射線管:銅靶,風扇冷卻,陽極接地。 管電壓:30KVP,全壓合閘。 管電流:0—5mA 連續(xù)可調,使用2.0mA以上,有可能損壞X光管并加大輻射危害。 (2)輸入電源:單相交流220V,50Hz,整機總耗電功率不大于0.3 KW 。 (3)角度測量范圍: 2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。 | |||||||||||||||||||||||||
衍射方式 | 單衍射 | 雙衍射 | ||||||||||||||||||||||||
放大系統(tǒng) | 傳統(tǒng)放大器 | 新型放大器 | ||||||||||||||||||||||||
接收系統(tǒng) | 計數(shù)管計數(shù)率為104/秒 | 計數(shù)管計數(shù)率為108/秒 (是普通系列的1萬倍) | ||||||||||||||||||||||||
接收器壽命 | 1年 | 3年以上 | ||||||||||||||||||||||||
X光管壽命 | 按照國家標準400小時 (X光管可以使用3-4個月) | 是正常使用狀況下的2-3倍 (X光管至少可以使用一年) | ||||||||||||||||||||||||
X管電流強度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA | ||||||||||||||||||||||||
測量和使用效果 | X光管使用2-3個月有可能出現(xiàn)多個假峰,影響準確度。需要經常更換X光管,影響生產效率。 | 可以濾掉X光管的雜峰,不存在假峰現(xiàn)象。X光管可以使用1年左右,不需要頻繁調整機器。 | ||||||||||||||||||||||||
精度 | 精度±30秒(或±0.008度) | 精度±15秒(或±0.004度) | ||||||||||||||||||||||||
輻射 | 測量時使用 mA量越來越大,射線輻射量較大。 | 測量時使用 mA量小,射線輻射量較小。 |