1.1概述

水蒸氣蒸發(fā)混合器是一種可以產(chǎn)生含水蒸汽混合氣體的裝置。它可以產(chǎn)生水蒸氣與另外一路氣體以任意比例混合的氣體，且該氣體的流量和溫度皆可連續(xù)調(diào)節(jié)。適用于CEM3002、CEM3020和CEM3080等型號。

1.2 工作原理

1.2.1主機部分主機由1路氣體流量計量模塊、1路水蒸氣計量蒸發(fā)模塊、1個氣體預(yù)熱混合器和系統(tǒng)控制平臺組成。水通過計量泵精確計量流量后進入蒸發(fā)器，并且得到蒸發(fā)。另外1路載氣經(jīng)過質(zhì)量流量計計量流量后，與水蒸氣在預(yù)熱混合器中進行充分混合后輸出。通過調(diào)節(jié)載氣的流量和水泵的流量，可以調(diào)節(jié)混合氣體中水的含量以及氣體總流量。通過預(yù)熱混合器可以調(diào)節(jié)控制混合器輸出的問題。

1.2.2定制附件：主機與應(yīng)用設(shè)備伴熱連接當主機與應(yīng)用設(shè)備距離較遠時，可以定制一套伴熱連接管路。它包含3個溫控：1個電伴熱管線溫控以及2個管接頭伴熱溫控。伴熱管線是一體成型的，而管接頭伴熱采用方便拆卸的加熱帶。

1.3 參數(shù)指標

1.4 包裝清單

1.5 設(shè)備接口

前方視圖

背面視圖

2.安裝與操作2.1 清點部件

請根據(jù)訂單清點，主要包括主機、電源線（CEM3020/CEM3002）等

2.2安裝電源

CEM3002/CEM3020電源線為16A的插頭，準備一個與現(xiàn)場220V電源聯(lián)通的插座，將插頭插入插座內(nèi)。CEM3080電源線為6mm2的三芯線纜（5.5kW），請在現(xiàn)場電工的幫助下進行電源連接。

2.3 安裝水源

CEM3080：水桶是放置在主機外面的，將主機上的進水管投入水桶中即可。CEM3020：打開主機正面下部的門，可以將一個20L的水桶置于主機下部，將進水管投入水桶中即可。CEM3002: 打開主機正面下部的門，可以將一個≤20L的水桶或者試劑瓶置于主機下部，將進水管投入水桶/瓶中即可。

2.4 安裝氣源

將外部氣源管插接到進氣口的快插接頭中即可。

2.5 安裝主機與應(yīng)用設(shè)備之間的伴熱管

需要預(yù)約工程師現(xiàn)場確定伴熱管布置，測量所需長度后定制伴熱管，再到現(xiàn)場安裝。

注意1.水源要采用去離子水2. 不可用力拉扯進水管！3.管接頭伴熱測溫的熱電偶連接線需布置妥當，放置使用中不小心扯松，導致測溫不正常燒壞伴熱帶

2.6 快速操作

2.6.1 打開設(shè)備電源（1）在前面板上打開主控開關(guān)（2）按下系統(tǒng)開關(guān)按鈕，啟動觸摸屏主頁面

2.6.2 預(yù)熱設(shè)備（1）啟動蒸發(fā)器：在主頁面上點擊蒸發(fā)器“設(shè)置”按鈕，進入蒸發(fā)器設(shè)置頁面；將SV設(shè)置為所需溫度。SV的溫度越高蒸發(fā)器的蒸發(fā)能力越強。對于CEM3020和CEM3080，SV設(shè)置為220℃和180℃可以達到設(shè)計的最大蒸發(fā)能力。

（2）啟動伴熱器：在主頁面上點擊伴熱器的“設(shè)置”按鈕，進入伴熱設(shè)置頁面。通常伴熱的溫度設(shè)置為120℃即可。如果主機和應(yīng)用設(shè)備之間沒有接附件，則可以不設(shè)置下面的三個伴熱。

（3）啟動預(yù)熱混合器：在主頁面上點擊預(yù)熱混合器的“設(shè)置”按鈕，進入預(yù)熱混合器的設(shè)置界面。把出口氣體溫度控制部分的SV設(shè)置為所需的目標溫度。超溫保護設(shè)置，通常出廠已經(jīng)設(shè)置好。

（4）在主機前面板上，打開加熱開關(guān)。

2.6.3 發(fā)生混合氣體

待上述3個部件都達到預(yù)熱溫度后：（1）在主頁面上點擊質(zhì)量流量計的“設(shè)置”按鈕，進入質(zhì)量流量計設(shè)置頁面，可以調(diào)節(jié)載氣流量。

（2）在主頁面上點擊進液泵的“設(shè)置”按鈕，進入進液泵設(shè)置界面，調(diào)節(jié)進液泵流量。進液流量設(shè)好后，返回到主頁面，點擊進液泵的啟動/停止按鈕，即可發(fā)生蒸汽。

注意請勿隨意更改PLC或控制儀表的設(shè)定參數(shù)！如需修改，請聯(lián)系廠家或查閱PLC或控制儀表使用說明書。

3.設(shè)備維護與故障排除3.1更換設(shè)備附屬配件

（1）斷開電源連接線。（2）等待設(shè)備冷卻半個小時（3）根據(jù)安裝步驟更換附屬配件

3.2檢查系統(tǒng)氣密性

設(shè)備在出廠前已經(jīng)進行過氣密性檢查。后續(xù)若出現(xiàn)氣密性風險，按一下步驟進行檢查：（1）將設(shè)備除進氣口以外所有可能存在氣體泄漏的進液口及出氣口用橡皮墊封堵（2）接通外部氣源，并將氣壓調(diào)節(jié)到1 bar（3）用肥皂水噴灑在每一個系統(tǒng)管路的結(jié)構(gòu)部位，查看是否存在肥皂水被吹出泡泡的現(xiàn)象。如有：則表示設(shè)備存在泄漏，需進行卡套鎖緊或更換卡套處理，如沒有：則表示設(shè)備氣密性完好

注意使用高壓氣瓶時務(wù)必注意用氣安全使用肥皂水噴灑時，務(wù)必在檢漏部位底部做好吸水干燥措施。

3.3設(shè)備長期不使用處置

（1）將設(shè)備處于預(yù)熱狀態(tài)，水泵空泵運行排除殘水，載氣吹掃30min，防止內(nèi)部管路積水（2）將進水管從水源斷開，并防止灰塵/霉菌進入進水管，堵塞計量泵（3）切斷電源和氣源

3.4 設(shè)備無法產(chǎn)生蒸汽

（1）可能原因：未打開加熱開關(guān)解決方法：立即停止水泵,檢查加熱開關(guān)是否打開（2）可能原因：設(shè)備配備的是雙柱塞泵且是第一次使用時，水泵空轉(zhuǎn)解決方法：需要用注射器在泵的出水口抽吸，直到出口出水；其它類型的泵無此問題（3）可能原因：蒸發(fā)器損壞解決方法：檢查蒸發(fā)器溫度是否可以達到150℃，不可以則報修

3.5 設(shè)備出口有液滴

（1）可能原因：蒸發(fā)器損壞或者尚未預(yù)熱好解決方法：立即停止水泵，檢查蒸發(fā)器溫度是否正常，或者等待或者報修（2）可能原因：超過了蒸發(fā)器額定蒸發(fā)量解決方法：調(diào)節(jié)水泵流量到裝置額定流量范圍內(nèi)（3）可能原因：預(yù)熱混合器/伴熱損壞或尚未預(yù)熱好解決方法：檢查該部件溫度是否正常，或者等待或者報修

3.6 氣體流量不足

（1）可能原因：設(shè)備開關(guān)、模塊開關(guān)未開啟。解決方法：開啟所有開關(guān)。（2）可能原因：進液泵沒有啟動解決方法：開啟電源運行進液泵（3）可能原因：設(shè)備汽化模塊故障解決方法：檢查更換汽化模塊（4）可能原因：氣路堵塞解決方法：檢查堵塞氣路并更換（5）可能原因：氣源不足解決方法：檢查氣源