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非接觸式全自動曲率及薄膜應力測試儀

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱科睿設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2022/11/7 15:46:18
  • 訪問次數428
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親愛的讀者,親愛的用戶: 謝謝您瀏覽我們的網站!您的要求,您的技術和科研困難和問題,您的意見和建議,以及您的各種評論都是我們的機會。希望您能積極與我們交流,讓我們能為您提供服務和幫助,為您提供實用的解決方案。祝你們多出成果,出好成果! 科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd )為多家國外高科技儀器廠家在中國地區的代理。科睿公司一貫秉承『誠信』、『品質』、『服務』、『創新』的企業文化,為廣大中國用戶提供的儀器、設備,最周到的技術、服務和的整體解決方案。在科技日新月異、國力飛速發展的中國,納米科學研究、薄膜材料(包括半導體)生長和表征、表面材料物性分析、生物藥物開發、有機高分子合成等等領域,都需要與歐美發達國家*接軌的儀器設備平臺來實現。科睿設備有限公司有幸成長在這個火熱的年代,我們愿意化為一座橋梁,見證中國科技水平的提升,與中國科技共同飛速成長。 科睿設備有限公司(Cross-Tech Equipment Co.,Ltd)總部設在中國香港,在中國上海設立了分公司,在國內多個城市設立了辦事處或維修站,旨在為客戶提供的產品和服務。2010年,科睿設備有限公司在上海設立備品倉庫及維修中心,同時提供在大陸的各項技術服務和后期的維修保障服務,我們擁有專業的應用維修人員,并且都曾到國外廠家進行了專門的培訓。上海配備了多種維修部件,能使我們的服務更加快捷和方便。我們承諾24小時電話響應,72小時內趕到現場維修。以利于更好、更快的為中國大陸服務! 因為信任,所以理解.我們理解用戶的困難和需求。我們已經為國內眾多科研院所和大學根據用戶的要求配制和提供了上百套系統,主要用戶包括:中科院物理所,中科院半導體所,中科院大連化學物理研究所,國家納米中心,上海納米中心,北京大學,清華大學,中國科技大學,南京大學,復旦大學,上海交通大學,華東理工大學,浙江大學,中山大學,西安交通大學,四川大學,中國工程物理研究院,香港大學,香港城市大學,香港中文大學,香港科技大學等。
產品描述:非接觸式全自動曲率及薄膜應力測試儀 在線訂購
非接觸式全自動曲率及薄膜應力測試儀 產品信息
非接觸式全自動曲率及薄膜應力測試儀
全自動二維或三維測量彎曲、弧度、坡度和表面曲率,
軟件模塊用于計算硅片和玻璃基板的薄膜應力(晶圓應力)
應用
平板掃描用于非接觸式測量各種反射表面的平整度、波紋度、平均半徑和薄膜應力,如硅片、鏡子、X射線鏡(Goebel鏡)、金屬表面或拋光聚合物。光學測量原理確保了高精度。它是基于測量垂直入射激光束沿等寬直線的反射角。通過測量點之間反射角的變化,可以精確地計算出表面形狀。對于某些應用,反射角本身很有趣。因此,軟件還提供了這種測量選項。
對于半導體技術中的應用,涂層中的薄膜應力可以通過測量涂層前后的半徑來計算。
大測量區域
所用測量原理的一個特點是它獨立于測量領域。
因此,在不降低精度的情況下,可以任意增大標準測量區域直徑200毫米。
測量精度高
平板掃描具有較高的測量精度。測量系統的分辨率為0.1弧秒。表面形狀再現性達100nm。
測量范圍大,工作距離大
測量范圍是可以在一次掃描中測量的箭頭高度(或最小可測量曲率半徑)。平面掃描的特點是測量范圍非常大,這是無法實現與競爭性的測量方法,如條紋干涉儀。
因此,平面掃描適用于測量具有強曲率的表面,如Goebel反射鏡、硅片或其他。使用的光學測量原理工作時與工作距離無關,保證了較高的工作距離,因此不存在損壞試樣的危險。

可選二維或三維測量
可選,根據設備類型,可以完成單線掃描或完整的3D掃描。
三維掃描是由許多具有自動樣本定位的單行掃描組裝而成的。
該軟件為測量結果的圖形和數字表示提供了所有的可能性,如三維表示、剖面圖和測量協議。
薄膜應力計算軟件模塊
對于半導體技術和所有應用,在完成表面改性(如涂層或涂層去除)的情況下,軟件配備了用Fowkes理論計算薄膜應力的模塊。通過這種方法,平板掃描可以快速而容易地測量薄膜應力。 薄膜應力是根據涂層前后的平均曲率半徑計算出來的。
技術參數
再現性表面曲率(p-v):小于100納米
光學測量系統的分辨率:0.1弧秒
光學測量系統精度: 1弧秒
測量速度: 10毫米--30毫米/秒
測量區域:標準直徑200 mm
試樣厚度:不限
最小曲率半徑和根據掃描長度確定的箭頭高度:
200毫米:R=18米290微米,
300毫米:R=25米435微米,
500毫米:R=43米725微米
自由工作距離:不限
測量波長:標準670納米
自動順序測試
關鍵詞:應力測試儀
15168338725
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