日本optiworks非接觸式 3D 測(cè)量系統(tǒng)Modular Optical Pen DUO
產(chǎn)品特征
1 實(shí)現(xiàn)更精確的表面形狀測(cè)量,更寬的測(cè)量范圍
除了以前型號(hào)中使用的測(cè)量方法(“共焦彩色模式”)外,還安裝了一種新的“干涉測(cè)量模式”。現(xiàn)在可以處理更精確的表面形狀測(cè)量。兩種模式均可根據(jù)需要的測(cè)量精度使用,擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。
2 模式控制器
該控制器可用于共焦/彩色模式和干涉測(cè)量模式。與之前的型號(hào)一樣,系統(tǒng)配置簡(jiǎn)單易用,只需根據(jù)所需的測(cè)量精度更換筆形模塊即可。
測(cè)量原理(干涉測(cè)量方式)
從光源發(fā)出的光被測(cè)量對(duì)象、參考板(參考平面)等反射。此時(shí),兩束反射光之間會(huì)產(chǎn)生光程差。如圖所示,將參考板插入待測(cè)物體前,使其盡量靠近,當(dāng)光程差進(jìn)入相干長(zhǎng)度時(shí),兩束反射光就會(huì)發(fā)生干涉。由于這種干涉的光譜強(qiáng)度受波長(zhǎng)調(diào)制,因此可以通過同軸顏色校正光學(xué)筆對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和分析,從而實(shí)現(xiàn)更精確的厚度測(cè)量。
日本optiworks非接觸式 3D 測(cè)量系統(tǒng)Modular Optical Pen DUO
產(chǎn)品特征
1 實(shí)現(xiàn)更精確的表面形狀測(cè)量,更寬的測(cè)量范圍
除了以前型號(hào)中使用的測(cè)量方法(“共焦彩色模式”)外,還安裝了一種新的“干涉測(cè)量模式”。現(xiàn)在可以處理更精確的表面形狀測(cè)量。兩種模式均可根據(jù)需要的測(cè)量精度使用,擴(kuò)展了應(yīng)用范圍。
2 模式控制器
該控制器可用于共焦/彩色模式和干涉測(cè)量模式。與之前的型號(hào)一樣,系統(tǒng)配置簡(jiǎn)單易用,只需根據(jù)所需的測(cè)量精度更換筆形模塊即可。
測(cè)量原理(干涉測(cè)量方式)
從光源發(fā)出的光被測(cè)量對(duì)象、參考板(參考平面)等反射。此時(shí),兩束反射光之間會(huì)產(chǎn)生光程差。如圖所示,將參考板插入待測(cè)物體前,使其盡量靠近,當(dāng)光程差進(jìn)入相干長(zhǎng)度時(shí),兩束反射光就會(huì)發(fā)生干涉。由于這種干涉的光譜強(qiáng)度受波長(zhǎng)調(diào)制,因此可以通過同軸顏色校正光學(xué)筆對(duì)其進(jìn)行測(cè)量和分析,從而實(shí)現(xiàn)更精確的厚度測(cè)量。