本設備通過對真空系統、下游壓力閉環控制、射頻電源、氣體流量及工藝過程的全自動控制,以及所具有的安全互鎖、智能監控、在線狀態記憶、斷點保護等功能。使設備的安全性、重復性、穩定性、可靠性得到有效保證。
產品主要性能指標:
型號 | RIE-24000 |
真空系統 | 進樣室:機械泵系統;刻蝕室:分子泵機組 |
樣品尺寸 | 500×400mm |
刻蝕材料 | SiO2、Si3N4等 |
刻蝕不均勻性 | ≤ ±5% |
自動化程度 | 真空系統、機械手送/取樣片、下游壓力閉環控制、射頻電源、氣體流量、工藝過程全自動控制。 |
人機界面 | Windows環境、觸摸屏操作 |
操作方式 | 全自動方式、非全自動方式 |
配套件選配 | 可選擇進口件或國產件 |
送/取樣片方式 | 機械手自動送/取片 |