往復真空泵
靠活塞往復運動使泵腔（氣缸）的工作容積周期性地變化來抽氣的真空泵，又稱活塞真空泵。往復真空泵的結構與往復活塞壓縮機相似。工作時，吸氣管接被抽真空容器，排氣管直通大氣。往復真空泵抽氣量較大，抽氣速率范圍為每小時45～20000立方米，單級泵極限壓力約為103帕，雙級泵可達1帕。往復真空泵可用于真空蒸餾、真空濃縮、真空結晶、真空過濾、真空干燥和混凝土真空作業等。在泵的吸氣口處若安裝冷凝器，可抽除含水蒸汽的氣體；若安裝過濾器，則可抽除含塵氣體。
往復式真空泵的結構和工作原理
往復式真空泵(又稱活塞式真空泵)屬于低真空獲得設備，用以從內部壓力等于或低于一個大氣壓的容器中抽除氣體，被抽氣體的溫度一般不超過35C。往復泵的極限壓力，單級為4×10～10Pa，雙級可達1Pa。它的排氣量較大，抽速范圍15～5500L/S。往復泵多用于真空浸漬、鋼水真空處理、真空蒸餾、真空結晶、真空過濾等方面抽除氣體。
往復式真空泵對于抽除腐蝕性或含有顆粒狀灰塵的氣體是不適用的。被抽氣體中如果含有灰塵，在泵的進口處須加裝過濾器。
