粗糙度輪廓測量儀
儀器參數符合ISO、DIN、JIS、EN等各類標準。CNC全自動X、Z軸采用全程大量程高精度光柵尺,選配上下雙向測針,Y軸自動工作臺同時可測量旋轉類工件內外徑幾何尺寸(自動鎖定拐點測直徑),內外輪廓形貌等。再選配分度頭裝夾工件,可測量圓度、圓柱度及不同截面的復雜幾何尺寸。
粗糙度輪廓測量儀產品名稱 | VC10 | VC10EL | VC10UL | LC10 | |||
Z軸測量范圍 | 225 mm | 325 mm | 425 mm | 225mm(275mm可選) | |||
X軸測量范圍 | 225 mm | 325 mm | 425 mm | 225mm(270mm可選) | |||
X軸Z軸全量程分辨率 | 0.002µm | 0.02µm | |||||
測量精度 | +/-(0.5+L/100)µm 輪廓測量誤差:0.01%-1%(玻璃標準半球) | 輪廓測量誤差:0.01%-1%(玻璃標準半球),測量精度:+/- (1.5+L/100)µm | |||||
針尖分辨率 | 小于3nm | 小于30nm | |||||
測量系統 | CNC控制X / Z / T軸高精度增量光柵測量系統 | ||||||
測量力(軟件可自動調節) | 0 -150 mN | 10 -150 mN | |||||
測量速度 | 0.1 - 2mm/s 軟件動態調節測量速度 | ||||||
取樣長度 | 0.008/0.025/0.08/0.25/0.8/2.5/8(mm) 或自定義 | ||||||
測量長度 | 1-10 倍截取長度或自定義測量長度 | ||||||
濾波 | Gaussian; 2RC; λs-Filter | ||||||
放大倍數 | 標尺 1:1 至 5000:1 | ||||||
可選針尖半徑 | 0.002mm 至 1mm | ||||||
爬坡能力 | 上坡78, 下坡87 | ||||||
校準器 | 標準配置并帶有校準證書 | ||||||
測量工作臺 | 3 種高度 30/50/70mm,3 種行程 25/50/75mm, 機械/電動/CNC控工作臺可選 | ||||||
基座mm | 950 x 380 x 725 | 1150 x 380 x 725 | 1150 x 380 x 725 | 950 x 380 x 725 | |||
重量 | 150 kg |