水蒸氣等離子體發生器是采用過熱水蒸氣作為工作氣體產生熱等離子體炬的非轉移弧電弧等離子體發生裝置，產生的等離子體炬主要由氫和氧組成，它們都是氧化反應時的活性組分。

采用水蒸氣等離子體炬對有機廢棄物進行裂解氣化處理時的化學表達式如下：

即水蒸氣等離子體氣化的優勢是可以將有機物轉化能源，且不會產生氮氧化物等二次污染。

●不產生氮氧化物

常用的空氣等離子體炬中氮氣的含量高達78%，易產生大量的氮氧化物。而水蒸氣等離子體采用水蒸氣作為工作氣體， 氮源，不會產生氮氧化物，是一種清潔熱源。

●超高溫度

水蒸氣等離子體炬溫度高達5000℃，可以摧毀任何有機或生物材料、安全處理大多數劇毒物質、熔融甚至蒸發大多數耐高溫無機化合物實現廢物的大量減容。

●高熱晗

水蒸氣等離子體炬比氮氣、空氣和其他大多數氣體等離子體炬的熱晗高出一個數量級。

●無爆炸風險

與氫氣等離子體炬相比，水蒸氣等離子體炬無爆炸風險。

●工作介質廉價

采用普通水作為工作介質，使得水蒸氣等離子體炬比其他類型的等離子體炬便宜。

●二次利用

可用于產生高品質的合成氣體(CO+H?)和固態殘渣。

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（1）與處理含鹵素的有機物時，不會產生二噁英和呋喃等劇毒物質；

（2）水蒸氣等離子體可以將廢物中的碳源全部轉化成氣體，而其它焚燒工藝產生的固體殘渣中含有高達30%的碳黑。

（3）水蒸氣等離子體氣化產生的尾氣中不含氮氧化物。水蒸氣等離子體炬中的氫源抑制了氣態硫、磷和自由氯的形成，極大地降低了尾氣處理的難度。