IN USA品牌 Dffoz采用的水中臭氧傳感器技術,設計用來檢測半導體濕法處理和其他工業領域高濃度水中臭氧檢測。它可以為去離子水提供持續的臭氧測量,濃度高達150mg/L。 Dffoz(溶解水中全流量臭氧) 已經完成”預備清潔”,可以應用于高純度的半導體過程,在線安裝,流量高達150SLPM。
Dffoz傳感器結合料IN USA公司創新的雙路取樣傳感技術(獲得),達到了的性能和消除對參比氣測量的需要。
Dffoz典型安裝包括一個Dffoz傳感器和一個控制器(Mini-Sci或者SCI-Mux),并通過7層Teflon線纜連接。
產品特點:

n 紫外線吸收技術
n 雙光路測量原理
n 在線、全流量測量
n 無可移動部件
n 半導體級材料
n 緊湊FRPP外殼
n 一個控制器可接四個傳感器

技術指標:
傳感器：Dffoz-D
◆ 制造商: IN USA INC(美國)
◆ 應用 ：高濃度水中臭氧連續測量
◆ 測量原理 ：紫外吸收技術,雙光路取樣測量技術
◆ 紫外線光源：低壓汞燈
◆ 測量單位 ：PPBw，mg/L
◆ 量程 ： 可達到150mg/L
◆ 精度：0.5mg/L或讀數1%（取大者）
◆ 流量：高達150SLPM
◆ 壓力：55PSI
◆ 接口：1”, 3/4”,1/2, 3/8” “Flaretek” 接口（其它接口可定制）
◆ 外殼：FRPP
◆ 焊接材料：PFA，Teflon，藍寶石，滿足半導體制程序要
◆ 尺寸：138 X 171 X 82mm
控制器：MiniSCI-N
◆ 20位背光LCD
◆ 分辨率：0.1mg/L或0.1ppm
◆ 循環時間：每隔0.5秒持續測量
◆ 模擬輸出：4-20mA或0-10VDC
◆ 數字 I/0：RS-232C
◆ 診斷：內部診斷，報警提示
◆ 遠程自動校零：標準遠程自動校零功能
◆ 供電：90-240VAC 50/60Hz
◆ 尺寸：143X 71X 241mm
◆ 認證：CE