真空電控位移臺是為真空環境設計的真空電控位移平臺和電控真空位移臺,廣泛用于真空環境的電控位移定位操作應用。
真空電控位移臺采用真空兼容步進電機。使用M6螺釘,可搭建成 二維XY真空電控位移臺系統。采用角架2AB175V，還可搭建XZ二維垂直位移臺系統和XYZ三維真空電控位移臺系統，還可以采用光學底板3UBP175V直接安裝到光學平臺上。
真空電控位移臺配套高度真空兼容Sub-D接口連接器,具有9或15針連接器。連接器是玻璃制成，里面填充的是聚合物，外殼是不銹鋼，適用于真空度高達10^-6毫巴和溫度高達110°C的環境。

真空電控位移臺特點
窄型型材設計節省安裝空間
超級緊湊設計方便安裝使用
分辨率高達 0.31µm (1/8步模式)
導軌精度高
絲桿螺距是0.5mm
可以搭建成XYZ三維真空電控位移臺系統

XYZ三維真空電控位移臺系統裝置
高度真空Sub-D連接器的規格：
真空：10^-6毫巴
主體材料：DEP
溫度范圍：- 55°C至110°C
針材質：鍍金銅合金
提供其他大小的連接器和真空密封裝置。

真空電控位移臺產品規格
絲杠螺距 0.5mm
全步進分辨率 2.5µm
速度 5mm/s
載重量
水平 8kg
立式 3kg
真空度 10^-6Torr
電機連接器 DB9（M）
步進電機 VSS42
裝配成多維位移臺的配件
X-Y 直接
Z 2AB175V
平面 3BP175V
速動限位開關 雙端開關
類型 推動“關閉”