簡介
“NEOARM” 標(biāo)配了日本電子獨(dú)自開發(fā)的冷場發(fā)射電子槍（Cold-FEG）和全新的高階球差校正器（ASCOR）。無論是在200kV的高加速電壓還是在30kV的低加速電壓下，均能實(shí)現(xiàn)原子級分辨率的觀察與分析。同時還配備了自動像差校正系統(tǒng)，采用日本電子獨(dú)自開發(fā)的像差校正算法，可以自動進(jìn)行快速準(zhǔn)確的像差校正。由此實(shí)現(xiàn)了高通量的原子級分辨率成像。此外，新型STEM檢測器不依賴于加速電壓就可以獲得高襯度的輕元素圖像。因此，利用能增強(qiáng)輕元素襯度的新STEM成像技術(shù)（e-ABF法）可以更加簡便地觀察到含有輕元素樣品的高清晰（襯度）圖像。為了響應(yīng)近來已成為主流的遠(yuǎn)程操作的需求，NEOARM的電鏡室和操作室實(shí)行了分離式，主機(jī)使用了JEOL的新概念顏色—純白色和JEOL銀色，設(shè)計精煉時尚。
主要特點(diǎn)：
·球差校正器ASCOR（Advanced STEM Corrector）
·“NEOARM”配備的新型球差校正器ASCOR能夠校正高階像差（即6重像散，目前阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的障礙。），ASCOR和Cold-FEG的組合實(shí)現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下的高分辨率。
·自動像差校正軟件JEOL COSMO™（Corrector System Module）
·JEOL COSMO™采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，校正像差不需要交換標(biāo)準(zhǔn)樣品也可以快速精確地校正至高階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比，JEOL CMSMO™能夠高速處理數(shù)據(jù)，并且使操作進(jìn)一步自動化。因此，客戶在工作流程中可以簡便高效地進(jìn)行高分辨率觀察及各種元素分析。
·新ABF（Annular Bright Field）檢測器系統(tǒng)
·ABF檢測器作為高分辨觀察輕元素的有效手段已被廣泛使用。“NEOARM”支持能增強(qiáng)輕元素襯度的新ABF成像技術(shù)（e-ABF：enhanced ABF），實(shí)現(xiàn)了對含有輕元素樣品的原子級結(jié)構(gòu)的觀察。
·Perfect sight檢測器
·STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測器作為混合檢測器，采用了由不同材料制成的閃爍器。該檢測器具有的寬電壓適應(yīng)性，不依賴于加速電壓始終都可以獲得高襯度的STEM圖像，并可用于定量STEM的分析研究工作。
· Viewing Camera系統(tǒng)
·“NEOARM”標(biāo)配的Viewing Camera系統(tǒng)是以遠(yuǎn)程操控為前提而設(shè)計的利用雙相機(jī)觀察圖像的系統(tǒng)。此系統(tǒng)允許主機(jī)房和操作間分離，因此能夠靈活地安排操作環(huán)境。電鏡主機(jī)采用的純白色和JEOL銀色在室內(nèi)協(xié)調(diào)美觀，外觀設(shè)計精煉簡潔。
產(chǎn)品規(guī)格
| 分辨率*1 | STEM HAADF 圖像: 70 pm (200 kV)、100 pm (80 kV)、160 pm (30 kV) |
| 電子槍 | 標(biāo)配冷場電子槍 |
| 球差校正器 | STEM: NEO ASCOR HOAC*2、TEM: CETCOR with DSS*3 |
| 校正器自動合軸系統(tǒng) | 日本電子NEO JEOL COSMO™ 自動合軸系統(tǒng)、Ad-hock合軸（SIAM） |
| 加速電壓 | 30 ～ 200 kV（ 標(biāo)配30、80、200 kV；選配60、120 kV） |
| 無磁場模式 | 標(biāo)配洛倫茲模式、放大倍數(shù) ( ×50 ～ 80 k熒光屏為參考面) |
| 樣品移動系統(tǒng) | X,Y,Z 軸高精度機(jī)械驅(qū)動、標(biāo)配超高精度壓電陶瓷驅(qū)動 |
| 操作類型 | RDS*4 操作模式*4 |
*1 裝配UHR(超高分辨率)極靴與STEM/TEM球差校正器
*2 HOAC(高階球差校正器)
*3 DSS(DeScan系統(tǒng))
*4 RDS(安裝室分隔式)
