專y掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與deguo CEOS GmbH公司共同開發的球差校正儀,顯zhu提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合*級納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。*近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍,進一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時,該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置,可以以后加配球差校正進行升級。
高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
·HAADF-STEM圖像0.136 nm,FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
·HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)
·明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)
高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍
·元素面分布更迅速及時
·低濃度元素檢測
操作簡化
·自動圖像對中功能
從樣品制備到觀察分析實現無縫連接
·樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容
配有各種選購件可執行各種評估和分析操作
·同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
·低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至*低)
·高精度放大校準和測量*
·實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
·采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*,具有自動傾斜圖像獲取功能。
·ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)
技術參數
項目 | 描述 | ||
---|---|---|---|
圖像分辨率 | w/o球差校正儀 | 保證 0.204 nm(當放大倍數為4,000,000時) | |
w球差校正儀 | 保證 0.144 nm(當放大倍數為7,000,000時)(標準鏡頭) | ||
保證 0.136 nm(HAADF圖像) 保證 0.105 nm(通過FFT)(當放大倍數為7,000,000時)(高分辨率鏡頭*) | |||
放大倍數 | 100倍 至 10,000,000倍 | ||
加速電壓 | 200 kV, 120 kV * | ||
成像信號 | 明場掃描透射電子顯微鏡:相襯圖像(TE圖像) 暗場掃描透射電子顯微鏡:原子序數襯度圖像(Z襯度圖像) 二次電子圖像(SE圖像) 電子衍射* 特征X射線分析和面分布(能譜分析)* 電子能量損失譜分析和面分布(EV3000)* | ||
電子光學系統 | 電子源 | 肖特基發射電子源 | |
冷場致發射器* | |||
照明透鏡系統 | 2-段聚光鏡鏡頭 | ||
球差校正儀* | 六極鏡頭設計 | ||
掃描線圈 | 2-段式電磁感應線圈 | ||
原子序數襯度收集角控制 | 投影鏡設計 | ||
電磁圖像位移 | ±1 µm | ||
試片鏡臺 | 樣品移動 | X/Y軸 = ±1 mm, Z軸 = ±0.4 mm | |
樣品傾斜 | 單軸-傾斜樣品桿:±30°(標準鏡頭), ±18°(高分辨率鏡頭*) | ||
真空系統 | 3個離子泵,1個TMP | ||
極x真空 | 10-8 Pa(電子槍), 10-5 Pa(樣品室) | ||
圖像顯示 | 個人電腦/操作系統 | PC/AT兼容, Windows® XP | |
監視器 | 19-inch液晶顯示器面板 | ||
圖像幀尺寸 | 640 × 480, 1,280 × 960, 2,560 × 1,920 象素 | ||
掃描速度 | 快掃,慢掃(0.5至320秒/幀) | ||
自動數據顯示 | 記錄序號,加速電壓,下標尺,日期,時間 |