專用掃描透射顯微鏡HD-2700,配備了與德國CEOS GmbH公司(總經理Max Haider先生)共同開發的球差校正儀,顯著提高了掃描透射電子顯微鏡的性能,更適合高級納米技術研究。由于球差校正系統校正了限制電子顯微鏡的性能的球差,使其與標準型號顯微鏡相比,分辨率提高了1.5倍,同時,探針電流提高了10倍。
最近,該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場發射電子槍,進一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時,該型號系列還增加了一款不帶球差校正的主機配置,可以以后加配球差校正進行升級。
特點與優勢
高分辨率掃描透射電子顯微鏡成像
HAADF-STEM圖像0.136 nm,FFT圖像0.105 nm(高分辨率鏡頭*)
HAADF-STEM圖像0.144 nm(標準鏡頭)
明場掃描透射電子顯微鏡圖像0.204 nm(w/o球差校正儀)
高速,高靈敏度能譜分析:探針電流×10倍
元素面分布更迅速及時
低濃度元素檢測
操作簡化
自動圖像對中功能
從樣品制備到觀察分析實現無縫連接
樣品桿與日立聚焦離子束系統兼容
配有各種選購件可執行各種評估和分析操作
同時獲取和顯示SE&BF, SE&DF, BF&DF, DF/EDX面分布*和DF/EELS面分布*圖像。
低劑量功能*(使樣品的損傷和污染程度降至)
高精度放大校準和測量*
實時衍射單元*(同時觀察暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像和衍射圖案)
采用三維微型柱旋轉樣品桿(360度旋轉)*,具有自動傾斜圖像獲取功能。
ELV-3000即時元素面分布系統*(同時獲取暗場-掃描透射電子顯微鏡圖像)