★ 家在共聚焦顯微鏡上采用3個線型CCD方式, 業內的1200萬畫素(400萬畫素×RGB)的高畫質、顏色再現性的圖像;
★ 業界的掃描速度,120幀/sec的高速掃描;
★ 可以進行分別基于R、G、B的圖像信號的表面形狀測定以及形狀解析,進一步也可以獲得深焦點圖像(焦點移動記憶方式);
★ 本裝置在進行表面形狀測定時,能夠作到非接觸、非破壞測定,測定精度高、處理速度快,(或在高生產率的條件下)可以實現高效的測定;
★ L7 除了白光共聚焦掃描以及激光共聚焦掃描功能外,還具有微分干涉、光學干涉測量以及反射光膜厚測量等功能;
★ 分辨率可達0.15um;