日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列
這是一款臺(tái)式超高溫多氣氛實(shí)驗(yàn)爐，可處理氮?dú)狻⒀鯕狻⒑狻鍤狻錃獾雀鞣N氣氛。
| C/C復(fù)合加熱器 | 最高2000°C |
|---|---|
| 碳化硅3涂層加熱器 | 最高1600°C |
| TiC3涂層加熱器 | 最高2100°C |
TE系列超高溫臺(tái)式多氣氛實(shí)驗(yàn)爐“熱邊”電爐從抽真空、吹掃到排氣的操作是PLC半自動(dòng)式的。 沒(méi)有手動(dòng)打開(kāi)和關(guān)閉閥門(mén)等復(fù)雜操作，并且可以通過(guò)觸摸面板進(jìn)行集中管理。臺(tái)式緊湊，您可以有效利用實(shí)驗(yàn)室的有限空間。
特征
三種類(lèi)型的爐子加熱器/絕緣材料擴(kuò)大了碳爐的應(yīng)用范圍。
C/C復(fù)合加熱器
SiC3（碳化硅）涂層加熱器
TiC3（碳化鈦）涂層加熱器
多功能功能集成在緊湊的機(jī)身中
節(jié)省空間：889（闊）x 503（深）x 629（高）mm
圓柱形加熱器（用于坩堝）、平面加熱器（用于晶圓燒制）
聯(lián)鎖（冷卻水、腔室表面溫度/加熱器過(guò)溫、真空度、腔室打開(kāi)/關(guān)閉）
PLC半自動(dòng)操作：（抽真空/吹掃x 3循環(huán)排氣）
觀(guān)察視口（可選）
日本thermocera實(shí)驗(yàn)用多氣氛爐TE系列
原理圖規(guī)格
| C/C復(fù)合線(xiàn)材 | 碳化硅3涂層石墨絲 | TiC3涂層石墨絲 | |
|---|---|---|---|
| 最高工作溫度 | 最高2000°C | 最高1600°C | 最高2100°C |
| 絕緣 | 石墨、氧化鋁、鎢、鉬、氧化鋯等（*因爐內(nèi)結(jié)構(gòu)而異） | ||
| 真空室 | SUS304水冷夾套結(jié)構(gòu)，頂部加載，線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)可打開(kāi) | ||
| 使用氛圍 | 在真空或惰性氣體（Ar、N2）中 | 在真空中，惰性氣體（Ar，N2），還原氣體（H2等） | |
| 有效加熱范圍 | Φ1“~ Φ3”（用于晶圓片進(jìn)料燒制的平面加熱器），或?Φ70 x 深度最大50（H）mm（圓柱形加熱器） | ||
| 極限真空度 | 1x10-2 帕斯卡（* 用于空爐） | ||
| 真空泵 | 干式渦旋泵（可選：渦輪分子泵） | ||
| 熱電偶 | 包括C型熱電偶 | ||
| 聯(lián)鎖 | 腔室表面溫度、加熱器超溫、冷卻水滴、腔室開(kāi)閉、真空度 | ||
| 公用設(shè)施和冷卻水 | 加熱器額定值最大 3KVA（* 取決于加熱范圍尺寸），冷卻水 3 升/分鐘 0.4Mpa | ||
