一、技術參數
儀器型號 | 2010A | 3020A | 4030A | 5040A | 6050A |
X Y測量行程（mm） | 200*100 | 300*200 | 400*300 | 500*400 | 600*500 |
Z軸行程 | 有效空間245mm，調焦范圍200mm，工作距離95mm | ||||
工作臺尺寸 | 350*250 | 450*350 | 550*450 | 700*600 | 800*700 |
玻璃臺尺寸 | 230*130 | 330*230 | 430*330 | 530*430 | 630*530 |
三軸傳動 | 光桿傳動 | ||||
光柵分辨率 | 0.0005mm | ||||
測量精度 | ≤3μm±L/200 重復精度≤2μm | ||||
影像倍率 | 0.7-4.5定格鏡頭 15-150倍可調 | ||||
光源系統 | 表面光源與投射冷光源、二環八區可調 | ||||
儀器外形 | 600*800*165 | 700*850*1650 | 800*900*1650 | 900*1050*1650 | 1000*1150*1650 |
儀器重量 | 220kg | 330kg | 400kg | 550kg | 650kg |
電腦配置 | 主流機型，雙核處理器、固態硬盤、19吋液晶顯示器、WIN7系統 | ||||
可選配件 | 0.5X 2X物鏡 | ||||
影像測高(Z軸加光柵) | |||||
Z軸自動 | |||||
探針測頭 | |||||
二、配置清單
序號 | 部品 | 規格/品牌 | 單位 | 數量 | 備注 |
1 | CCD | 高分辨率彩色1/3” CCD 780TVL（WM） | 個 | 1PC | |
2 | 鏡頭 | 連續變倍高清鏡頭0.7X-4.5X | 套 | 1PC | |
3 | 測量軟件 | 專業WM測量軟件 | 套 | 1PC | |
4 | 光柵尺 | X/Y/軸0.0005mm（0.5um) 高精度 | 套 | 1PC | |
5 | 光源 | 5環8區表面光源+透射光源LED | 個 | 1PC | |
6 | 數據處理器 | WM控制器 | 個 | 1PC | |
7 | 導軌 | 進口 (中國臺灣上銀）精密交叉導軌 | 副 | 3PC | |
8 | 光桿 | X/Y軸光桿傳動，Z軸光軸傳動. | 條 | 3PC | |
9 | 機器平臺 | 00級花崗巖大理石工作臺 | 套 | 1PC | |
10 | 基座 | 00級花崗巖大理石 | 套 | 1PC | |
11 | 立柱 | 00級花崗巖大理石 | 套 | 1PC | |
12 | 視頻采集卡 | 2000 | 個 | 1PC | |
13 | 防塵罩 | 無塵防塵罩 | 個 | 1PC | |
14 | 控制電腦 | 詳見“電腦配置表” | 套 | 1PC | |
15 | 軟件 | 個 | 1PC | ||
16 | 光學校正片 | 光學校正片 | 個 | 1PC | |
17 | 儀器工作桌 | 電腦儀器桌 | 張 | 1PC | |
18 | 用戶手冊 | 用戶手冊 | 本 | 1PC | |
19 | 軟件使用說明書 | 軟件說明書 | 本 | 1PC |
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